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4 混合電路混合電路的問題是引線和表面之間的虛擬連接。這主要是由于電路表面上的磁通量、光刻膠和其他殘留材料造成的。氬等離子清洗用于該清洗。這會去除氧化錫或金屬并改變電性能。此外，預(yù)鍵合氬等離子體還用于在金屬化、芯片貼裝和最終封裝之前清潔鋁基板。 5個硬盤等離子清洗用于去除之前濺射過程中留下的殘留物，但襯底表面是處理后，改變基材的潤濕性，減少摩擦是非常有利的。

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