高阻抗負(fù)載會(huì)增加電容串?dāng)_,電感耦合式等離子刻蝕所以當(dāng)使用非常高阻抗負(fù)載時(shí),電容串?dāng)_會(huì)增加,而當(dāng)使用非常低阻抗負(fù)載時(shí),電感串?dāng)_會(huì)增加。 11.在PCB的內(nèi)層放置一個(gè)快速周期信號。 12.阻抗匹配技術(shù)用于確保 BT 信號完整性并防止過沖。 13.注意抗串?dāng)_處理,如快速上升沿(tr≤3ns)信號的地包繞,將受EFT1B或ESD干擾且未被濾波的信號線放置在PCB邊緣。 14.盡可能使用地平面。

電感耦合式等離子刻蝕

該過程通常使用等離子清潔器的電感耦合等離子蝕刻 (ICP) 模型來完成。主要控制要求是 SiO2/Si3N4 蝕刻工藝的尺寸減小一致性、邊緣粗糙度控制、晶圓之間的尺寸減小均勻性以及光刻膠縮小工藝的每個(gè)循環(huán)中的光刻膠選擇性。步寬的精度決定了后續(xù)的接觸孔能否正確連接到指定的控制柵層。每個(gè)臺(tái)階的寬度(即每個(gè)控制柵層的擴(kuò)展尺寸)必須達(dá)到數(shù)百納米,電感耦合式等離子刻蝕使后續(xù)的接觸孔能夠安全準(zhǔn)確地降落在所需的控制柵層上。

如INTELHUB架構(gòu)中的HUBLink,離子束刻蝕與電感耦合等離子體刻蝕一共13根,使用233MHz的頻率,要求必須嚴(yán)格等長,以消除時(shí)滯造成的隱患,繞線是惟一的解決辦法。一般要求延遲差不超過1/4時(shí)鐘周期,單位長度的線延遲差也是固定的,延遲跟線寬、線長、銅厚、板層結(jié)構(gòu)有關(guān),但線過長會(huì)增大分布電容和分布電感,使信號質(zhì)量有所下降。所以時(shí)鐘IC引腳一般都接;" 端接,但蛇形走線并非起電感的作用。

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電感耦合式等離子刻蝕

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(4)穩(wěn)定的處理效果:等離子處理效果非常均勻穩(wěn)定,即使經(jīng)過常規(guī)的樣品處理也能長時(shí)間保持良好的效果。 (5)加工過程中不需要額外的輔助項(xiàng)目或條件。大氣壓等離子體僅需要 220 VAC 電流和空氣壓縮源。不需要其他附加項(xiàng)目或條件。 (6)等離子運(yùn)行成本低:全自動(dòng)運(yùn)行,24小時(shí)連續(xù)工作,無需人工管理,運(yùn)行功率可降至500W。 (7) 等離子可以處理各種形狀的樣品。

電子組裝技術(shù)、精密機(jī)械制造的進(jìn)一步發(fā)展,對清洗技術(shù)提出越來越高的要求,濕法清洗由于對環(huán)境污染大,其費(fèi)用日益增加。相對而言干法清洗有很大的優(yōu)勢,特別是以等離子技術(shù)為主的清洗技術(shù)已逐步在半導(dǎo)體、電子組裝、緊密機(jī)械等行業(yè)開始應(yīng)用。因此,有必要了解等離子清洗的機(jī)理及其應(yīng)用工藝。

目前有低溫plasma清洗處理技術(shù)。在低溫等離子體中,電子、激發(fā)態(tài)原子、分子和自由基都是活性微粒,容易與原材料表面發(fā)生反應(yīng)。因此,廣泛應(yīng)用于消毒、表面改性、薄膜沉積、刻蝕加工、器件清洗等領(lǐng)域。 近年來,低溫plasma清洗噴射技術(shù)逐漸發(fā)展起來,等離子體中化學(xué)活性成分的濃度越高,清潔效果越好。我們都知道潤滑劑是手機(jī)玻璃表面的污垢最常見的污物,污染后玻璃表面與水的接觸角度增大,影響離子交換。

氧等離子體改性過程中,通過工況的合理控制,可以有效提升竹炭的孔隙性能,原因可以歸結(jié)為以下兩點(diǎn):1、刻蝕作用,在適宜的改性時(shí)間范圍內(nèi),等離子體對竹炭內(nèi)外表面可以產(chǎn)生充分的刻蝕作用,使竹炭內(nèi)外表面產(chǎn)生新的起伏、粗糙,形成許多坑洼,增大比表面積。

離子束刻蝕與電感耦合等離子體刻蝕

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等離子刻蝕機(jī)加工后,離子束刻蝕與電感耦合等離子體刻蝕可以獲得各種高分子塑料、陶瓷、玻璃、PVC、紙或金屬的良好表面能。這種加工工藝可以提高產(chǎn)品的表面張力性能,等離子刻蝕機(jī)更適合工業(yè)上對涂層、粘合等加工的要求。為了使液體與基材表面正確結(jié)合,基材的表面能必須保持在2-10 mN/m的液體張力范圍內(nèi)。當(dāng)液滴附著在光滑的固體表面上時(shí),它會(huì)擴(kuò)散到基材上,當(dāng)完全潤濕時(shí),其表面張力接近于零。

用等離子刻蝕機(jī)對芯片和載板進(jìn)行處理,離子束刻蝕與電感耦合等離子體刻蝕不僅提供了超潔凈的焊接表面,而且顯著提高了焊接表面的活性,有效地防止了錯(cuò)誤焊接,減少了空腔和邊緣高度,從而提高了焊接效率。填充高度。它提高了封裝的寬度、機(jī)械強(qiáng)度,降低了各種材料的熱膨脹系數(shù),提高了界面的成型性和使用壽命。等離子刻蝕機(jī)在處理晶圓表面時(shí),等離子刻蝕機(jī)的表面清洗可以去除表面光刻膠等有機(jī)物,通過等離子活化劑和粗化方法對晶圓表面進(jìn)行粗化處理,就可以進(jìn)行表面處理。