光刻晶圓工藝是整個(gè)晶圓代工過(guò)程中的一個(gè)重要工序。該方法的原理是將一層高光敏感度的阻光層覆蓋在晶圓片的表面,甘肅等離子式除膠渣機(jī)視頻大全然后將光線透過(guò)掩模照射到晶圓片表面,被光線照射的阻光劑就會(huì)起反應(yīng),從而實(shí)現(xiàn)電路的移動(dòng)。晶圓刻蝕:就是把晶圓表面區(qū)域用光阻劑顯露出來(lái)的過(guò)程。它主要分為兩種:濕式蝕刻和干式。簡(jiǎn)而言之,濕式刻蝕僅限于2微米的圖形尺寸,而干式刻蝕則用于更為精細(xì)、要求更高的電路。

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