這種計(jì)劃外的基板條件還會(huì)導(dǎo)致與其他基板不同的區(qū)域中的過(guò)熱和氮化特性。在傳統(tǒng)等離子滲氮工藝中出現(xiàn)的異常輝光放電中，湖南加工等離子清洗機(jī)腔體銷售電話由于放電參數(shù)相互關(guān)聯(lián)、耦合，僅通過(guò)改變其中一個(gè)放電參數(shù)是無(wú)法控制滲氮過(guò)程的。為了克服上訴的缺點(diǎn)，研究人員開(kāi)發(fā)了一種低壓等離子體。如果壓力小于 10 PA，則不會(huì)發(fā)生異常輝光放電。等離子體可以通過(guò)微波的高頻激發(fā)或熱射線發(fā)射的高能電子沖擊電離產(chǎn)生。
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