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此外，北方華創(chuàng) hse系列等離子刻蝕機(jī) hse series plasma etcher等離子清洗機(jī)及其清洗技術(shù)也應(yīng)用在光學(xué)工業(yè)、機(jī)械與航天工業(yè)、高分子工業(yè)、污染防治工業(yè)和量測工業(yè)上，而且是產(chǎn)品提升的關(guān)鍵技術(shù)，比如說光學(xué)元件的鍍膜、延長模具或加工工具壽命的抗磨耗層，復(fù)合材料的中間層、織布或隱性鏡片的表面處理、微感測器的制造，超微機(jī)械的加工技術(shù)、人工關(guān)節(jié)、骨骼或心臟瓣膜的抗摩耗層等皆需等離子技術(shù)的進(jìn)步，才能開發(fā)完成。

2）等離子表面處理裝置有機(jī)會產(chǎn)生臭氧嗎？會產(chǎn)生少量。等離子表面處理是一種“清潔”的處理工藝。由于電離空氣 (O3) 的存在，北方華創(chuàng) hse系列等離子刻蝕機(jī) hse series plasma etcher排氣系統(tǒng)可以配置為根據(jù)需要排放臭氧。 3) 可以用等離子表面處理設(shè)備代替底漆嗎？等離子表面處理設(shè)備的選擇可以完全替代粘接、涂層、植絨、移印或打碼的底漆和砂光工藝。應(yīng)用該技術(shù)，不僅廢物產(chǎn)生率低，而且不使用溶劑，實(shí)現(xiàn)了持續(xù)的環(huán)保，同時(shí)大大提高了生產(chǎn)線的產(chǎn)能，降低了生產(chǎn)成本。 ，適合環(huán)保。

國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)用的等離子清洗機(jī)品牌主要是哪 搞半導(dǎo)體的企業(yè)往往都是大企業(yè)，等離子刻蝕icp而且半導(dǎo)體行業(yè)很多配件處理，對等離子清洗機(jī)的要求也比較高，所以半導(dǎo)體企業(yè)選擇等離子清洗機(jī)的品牌時(shí)候，往往對等離子清洗機(jī)設(shè)備公司的研發(fā)能力、產(chǎn)品質(zhì)量、服務(wù)水準(zhǔn)、合作客戶都比較關(guān)注，而很多其它的小企業(yè)對清洗效果沒有那么大要求，就只知道關(guān)心價(jià)格，看見哪個(gè)公司的機(jī)器便宜就買哪個(gè)的根據(jù)業(yè)務(wù)經(jīng)理對很多半導(dǎo)體企業(yè)的走訪，其實(shí)發(fā)現(xiàn)，很多企業(yè)還是愿意使用進(jìn)口的等離子清洗機(jī)品牌不過近幾年，國內(nèi)等離子清洗機(jī)發(fā)展很快，因?yàn)檫M(jìn)口機(jī)器價(jià)格貴，如果國產(chǎn)機(jī)可以達(dá)到同樣的效果，國內(nèi)的公司當(dāng)然愿意選擇國產(chǎn)品牌，的銷售經(jīng)理常年在外面拜訪客戶，根據(jù)他們對這些半導(dǎo)體企業(yè)的走訪，發(fā)現(xiàn)國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)用的多的品牌包括下面的這一些，我整理出來了一個(gè)表格，給大家做做參考國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)使用外資品牌占到了70%，尤其是像晶圓片刻蝕用的等離子清洗機(jī)，基本都是用進(jìn)口，有一個(gè)北方華創(chuàng)的公司，清洗機(jī)也可以用來做刻蝕，但是比起來美國March的機(jī)器，還是有一些差距，這個(gè)我們到實(shí)地是參觀過，國產(chǎn)機(jī)主要用在半導(dǎo)體封裝上面。

北方華創(chuàng) hse系列等離子刻蝕機(jī) hse series plasma etcher

粘合劑有不同的種類，每種粘合劑都有不同的特性，適用于不同的溫度和環(huán)境。打開膠水可能有一些情況，有的膠水不適合北方寒冷干燥的環(huán)境，有的膠水不適合南方溫暖潮濕的環(huán)境，有的膠水用久了會出現(xiàn)質(zhì)量問題，而且也由于膠粘劑儲存不當(dāng)或其他原因。即使您為您的產(chǎn)品購買了合適的膠水，成本也只是“昂貴”并且一些公司抱怨。目前，有效解決上訴問題的名為“等離子表面處理裝置YC-081”的裝置已上市。

21世紀(jì)初，主流的等離子刻蝕機(jī)都是洋槍洋槍，1995年美國政府開始對半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)行出口管制。這意味著禁止在中國大陸銷售先進(jìn)的蝕刻機(jī)。 ..國內(nèi)等離子清洗機(jī)蝕刻設(shè)備制造行業(yè)始于2003年。北方微電子公司（成立于2003年）致力于硅蝕刻機(jī)的開發(fā)，南油中微半導(dǎo)體公司（成立于2004年）開始蝕刻介電材料。兩家公司都有大量的海歸專家。

隨著微細(xì)加工工藝的發(fā)展，蝕刻已成為微細(xì)加工的總稱，廣義上是通過溶液、反應(yīng)離子或其他機(jī)械方法對材料進(jìn)行剝離和去除的總稱。蝕刻機(jī)原理電感耦合等離子體蝕刻（簡稱ICPE）是化學(xué)和物理過程綜合作用的結(jié)果。其基本原理是在真空和低壓下，ICP射頻電源產(chǎn)生的射頻輸出到環(huán)形耦合線圈，并占射頻輸出的一定比例?；旌衔g刻氣體與輝光放電結(jié)合以產(chǎn)生高密度等離子體。

射頻場可以通過多種方式產(chǎn)生，射頻場能量的組合功率和等離子體的均勻性在很大程度上取決于射頻激勵(lì)電極、線圈或天線的設(shè)計(jì)。工業(yè)中使用的兩種典型的射頻等離子體發(fā)生器是圖 (a) 所示的電容耦合等離子體 (CCP) 發(fā)生器和電感耦合等離子體（電感耦合等離子體）發(fā)生器，ICP）或反式耦合等離子體。 （反式耦合等離子體）。 , TCP) 生成器如 (b) 所示。大面積冷非熱平衡等離子體更可能在低壓下發(fā)生。

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與標(biāo)準(zhǔn)邏輯工藝（45nm工藝節(jié)點(diǎn)）中小于200nm的接觸孔深度相比，北方華創(chuàng) hse系列等離子刻蝕機(jī) hse series plasma etcher3D NAND的通道過孔深度超過400nm（早期的24層3D NAND結(jié)構(gòu)）。當(dāng)實(shí)現(xiàn) 128 個(gè)控制柵層時(shí)，通道過孔超過 1 μm。因此，溝道通孔蝕刻一般采用硬掩模工藝進(jìn)行蝕刻。該過程通常使用等離子表面處理機(jī)、等離子清潔器和電感耦合等離子蝕刻 (ICP) 模型來完成。

Diener 使用高度集成的技術(shù)開發(fā)和制造射頻頻率為 40KHz、80KHz、13.56MHz 和 2.45GHz 的等離子表面處理設(shè)備，等離子刻蝕icp這些設(shè)備是等離子應(yīng)用的最先進(jìn)技術(shù)。如今，該設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、蝕刻、灰化、涂層、表面處理等。產(chǎn)品主要銷售于真空電子、LED、光伏、集成電路、生命科學(xué)、半導(dǎo)體科學(xué)研究、半導(dǎo)體封裝、芯片制造、MEMS器件等領(lǐng)域。