德國(guó)Diener Electronic是等離子體技術(shù)領(lǐng)域的創(chuàng)新公司，是低壓等離子體系統(tǒng)、等離子體高頻發(fā)生器和大氣等離子體生產(chǎn)的國(guó)際領(lǐng)先者。他們的技術(shù)成熟和巨大成功保證了持續(xù)的全球擴(kuò)張。
迄今為止，全球已有10000多套Diener等離子系統(tǒng)！
Diener采用先進(jìn)的集成化技術(shù)開(kāi)發(fā)生產(chǎn)射頻頻率為40KHz、80KHz、13.56MHz，以及代表等離子應(yīng)用技術(shù)的2.45GHz的等離子清洗機(jī)。
目前設(shè)備廣泛應(yīng)用于：等離子清洗、刻蝕、灰化、涂鍍和表面處理。產(chǎn)品主要分布在真空電子、LED、太陽(yáng)能光伏、集成電路、生命科學(xué)、半導(dǎo)體科研、半導(dǎo)體封裝、芯片制造、MEMS器件等領(lǐng)域。其設(shè)備生產(chǎn)零件均選用其零件行業(yè)的產(chǎn)品，以保證性能技術(shù)穩(wěn)定。
德國(guó)diener等離子清洗機(jī)特點(diǎn)：
等離子清洗機(jī)清洗效果好，效率高，應(yīng)用范圍廣。
對(duì)清洗樣品，沒(méi)有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求
等離子清洗過(guò)程中，溫升很小，基本可達(dá)到常溫處理。
射頻功率無(wú)極連續(xù)可調(diào)。
高效的特制電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
特制電極和托盤(pán)結(jié)構(gòu)，可充分利用真空艙體內(nèi)部空間，使處理效率化，同時(shí)也可保證樣品可得到全面有效的清洗。
特有的過(guò)載、短路和過(guò)熱保護(hù)電路，可保證射頻電源的穩(wěn)定和安全。
設(shè)備整體模塊化設(shè)計(jì)，安裝與維護(hù)極為簡(jiǎn)單。
德國(guó)diener等離子清洗機(jī)系列：
Diener等離子清洗機(jī)主要技術(shù)參數(shù)：
　　1.全自動(dòng)PCCE控制系統(tǒng),可存儲(chǔ)50套程序。
　　2.根據(jù)工藝要求不同，可設(shè)定真空泵啟動(dòng)與停止、發(fā)生器的功率、反應(yīng)腔體壓強(qiáng)、氣體流量與時(shí)間等參數(shù)
　　3.雙路工作氣體，MFC質(zhì)量流量計(jì)
　　4.反應(yīng)艙為方形鋁制腔體w: 150 mm, h: 160 mm, d: 325 mm帶有鉸鏈門(mén)，門(mén)帶有觀察窗。
　　5.發(fā)生器100 kHz, 0 – 500 W連續(xù)可調(diào)，反射波自動(dòng)調(diào)節(jié)。
　　6.電極材質(zhì)為鋁制。
　　7.真空泵抽氣能力8m3/h
　　8 配有壓力傳感器，實(shí)時(shí)顯示壓力值
　　9.電源電壓：?jiǎn)蜗郃C230V 16A
德國(guó)Diener electronic成立于1993年,是世界低溫等離子工業(yè)的國(guó)際市場(chǎng)領(lǐng)先者,是一家專(zhuān)門(mén)研發(fā)和制造低溫低壓等離子清洗機(jī)、等離子射頻電源和大氣(常壓)等離子清洗機(jī)的高科技企業(yè)。24439