集成電路生產(chǎn)工藝需求，前期芯片制造，后期封裝及混合電路等的可持續(xù)發(fā)展;陶瓷、石英、高分子工程塑料等表面納米級的活化改性，由非極性到帶有一層納米級的極性材料表層，以提高材料表面物理和化學的粘接印刷涂覆上漆性能，最貼近生活化的如制鞋業(yè)的工藝生產(chǎn)需求，連接器上logo的印刷等;LCD液晶顯示屏表面有機物干擾材料的去除;金屬表層氧化物的去除等;等離子清洗的應用例子極為廣泛，而在等離子清洗設備反應腔室的電極載物托盤上進行托盤等離子有效區(qū)的整體均勻加熱行程高溫處理環(huán)境，在腔室四周外壁和真空門進行水冷，成為了促進等離子處理過程的有效方法。溫度是等離子體產(chǎn)生的極重要因素，太陽及太陽風(太陽日冕)、熱核聚變就是典型的例子，研究不同溫度下等離子清洗系統(tǒng)內(nèi)等離子的密度活性，處理速度及均勻性，可選擇性地得到適宜的材料處理種類及厚度和處理后表面材料特性，并且不會對基材表面產(chǎn)生等離子損傷及熱損傷，這項技術具有很大的實用意義。此方面應用需求將越來越大，尤其是持續(xù)發(fā)展與需求的半導體集成電路生產(chǎn)領域。
等離子清洗設備能加高溫嗎？
等離子清洗設備可以采用石英加熱管的紅外熱輻射方式提高溫度，其電熱轉(zhuǎn)換效率高，使用壽命長，且電源引線不用暴露于真空腔體及等離子處理區(qū)域內(nèi)，以防止加熱方式的過早疲勞損壞引起不必要的短路等隱患。加熱溫度可設置為較之前更高一些的溫度，如300℃～400℃，最高耐溫達800℃攝氏度。24707