表面區(qū)域的負(fù)電位排斥隨后向表面移動(dòng)的電子并吸引正離子,附著力的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)直到絕緣體表面的負(fù)電位達(dá)到一定值。這導(dǎo)致離子電流與電子電流同相。等待。此時(shí),絕緣體的表面電位Vf趨于穩(wěn)定,Vf與等離子體電位之差(Vp-Vf)保持恒定。這時(shí),在絕緣體表面附近有一層空間電荷層,這個(gè)空間電荷層就是離子鞘層。由于等離子體中的絕緣體常被稱(chēng)為浮置基板,所以絕緣體的電位常被稱(chēng)為浮置電位。
因?yàn)橛幸粋€(gè)外部電位作用在等離子體上,附著力的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)所以等離子體必須對(duì)此作出反應(yīng)。結(jié)果,等離子體將不會(huì)保持在原來(lái)的狀態(tài)。如果Vs>Vp,電極附近的電場(chǎng)會(huì)吸引電子,排斥正離子,使電子密度大于離子密度,在電極附近會(huì)產(chǎn)生電子空間電荷層,稱(chēng)為電子鞘層。此時(shí)流向電極的電子較大,如上圖所示。反之,形成正離子空間電荷層,稱(chēng)為離子鞘層。此時(shí),流向電極的離子電流較大,如下圖所示。在放電等離子體中,陰極附近的離子鞘通常更為重要。。
因此,附著力的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)粒子去除的物理過(guò)程與等離子體的特性密切相關(guān)。自由電子的擊穿和電離主要由兩個(gè)環(huán)節(jié)組成:1)多光子電離,主要利用多光子電離因子,使空氣中自由電子的密度略有增加,這些自由電子可以作為后續(xù)的基礎(chǔ)代大量的免費(fèi)electrons.2)當(dāng)自由電子密度的增加在一定程度上,會(huì)有吸收的因素,這將有力地吸收后續(xù)的激光脈沖能量,增加它的密度,即雪崩電離階段。
等離子清洗機(jī)(Plasma Cleaner)又被稱(chēng)為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。
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