無論配合在三軸平臺,絲印油墨附著力好的傳輸機還是裝在整條流水線上,大氣等離子清洗機都能快速使被處理材料其中一個表面達到很好的活化效果。
等離子體物理清洗不會產(chǎn)生氧化副作用,附著力好的油性絲印油墨保持被清洗物的化學純潔性,腐蝕作用各向異性,缺點是對表面產(chǎn)生很大的損害和熱效應(yīng),選擇性差,速度較低。反應(yīng)離子腐蝕化學清洗、物理清洗各有利弊,在反應(yīng)離子腐蝕中把這兩種機理結(jié)合起來,物理反應(yīng)和化學反應(yīng)都同時起重要作用,相互促進,其效果既有較好的選擇性、清洗率、均勻性,又有較好的方向性。
這些離子的活性很高,絲印油墨附著力好的其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵,在任何暴露的表面引起化學反應(yīng),不同氣體的等離子體具有不同的化學性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體,從而達到清洗的效果。 腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性,這樣就能滿足刻蝕的需要。利用等離子處理時會發(fā)出輝光,故稱之為輝光放電處理。
等離子體技術(shù)是等離子體物理、等離子體化學和氣固界面化學反應(yīng)相結(jié)合的新興領(lǐng)域。這是一個典型的高科技產(chǎn)業(yè),附著力好的油性絲印油墨需要跨越多個領(lǐng)域,包括化工、材料、電機等,因此將極具挑戰(zhàn)性,也充滿機遇,因為半導體和光電子材料未來將有快速等離子體清洗機近20年的研發(fā)和推廣應(yīng)用取得了成功的經(jīng)驗。目前等離子體與材料表面的反應(yīng)主要有兩種,一種是自由基作用下的化學反應(yīng),另一種是等離子體作用下的物理反應(yīng),下面會有更詳細的說明。
附著力好的油性絲印油墨
傳統(tǒng)濕法處理的 SiC 表面存在的主要污染物是碳和氧。這些污染物可以在低溫下與 H 原子發(fā)生反應(yīng),并以 CH 和 H2O 的形式從表面去除。等離子處理后表面的氧含量明顯低于常規(guī)濕法清洗。已發(fā)現(xiàn)表面雜質(zhì) C 的存在是制造半導體 MOS 器件和歐姆接觸的主要障礙。在等離子體處理后消除Cls的高能尾,即消除CC-H污染,有利于制備高性能歐姆接觸和MOS器件。
能量被聚合物吸收后,產(chǎn)生化學性質(zhì)非?;顫姷淖杂苫菀着c等離子體中的氣體發(fā)生反應(yīng),產(chǎn)生揮發(fā)性氣體??祀x子與中性粒子碰撞產(chǎn)生的中性自由基在等離子體脫膠機中不斷轟擊樣品表面,中性粒子之間進行電荷交換和能量傳遞,在等離子體脫膠機中進行。運動動能和振動動能以溫和的方式加熱表面,解離和激發(fā)產(chǎn)生的自由基以平移或振動的方式傳遞熱量。如果能量超過閾值,可以用自由基團簇引起濺射。
在使用新科技設(shè)備時,小編發(fā)現(xiàn)有許多人都會有這樣的擔心:等離子清洗機是否會對人體的產(chǎn)生危害?今天 為大家詳細解答使用等離子機需要了解的相關(guān)知識。
原子團等自由基與物體表面的反應(yīng) 由于這些自由基呈電重型,存在壽命較長,而 且在等離子體中的數(shù)量多于離子,因此自由基在等 離子體中發(fā)揮著重要作用。
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