隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，金屬表面噴砂處理等離子體清洗的優(yōu)勢(shì)越來越明顯。介紹了等離子體清洗的特點(diǎn)和應(yīng)用，討論了其清洗原理和優(yōu)化設(shè)計(jì)方法。然后分析了等離子體清洗工藝的關(guān)鍵技術(shù)和解決方案。等離子體清洗的特點(diǎn)是無論被處理對(duì)象的襯底類型如何，都可以進(jìn)行處理，還可以很好地處理金屬、半導(dǎo)體、氧化物、有機(jī)材料和大多數(shù)高分子材料，只需要很低的氣體流量，可以實(shí)現(xiàn)整體、局部和復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。

等離子體處理器表面處理所用的工藝氣體有氧氣、氬氣、氮?dú)?、壓縮空氣氫氣、四氟化碳等，金屬表面噴砂處理常用的有氧氣、氫氣和氮?dú)狻５入x子體處理器技術(shù)選擇的氣體就是這三種工藝氣體。我們應(yīng)該注意些什么？怎么選？1.所選氣體為氧氣：氧主要用于高分子材料的表面活化和有機(jī)污染物的去除，但不能用于金屬表面的易氧化。

實(shí)施例1:O2+e&Rarr；2O*+E-O*+有機(jī)物&RARR；CO2+H2O從反應(yīng)公式中可以看出，金屬表面噴砂處理氧等離子體可以通過化學(xué)反應(yīng)將非揮發(fā)性有機(jī)物轉(zhuǎn)變?yōu)閾]發(fā)性的H2O和CO2。實(shí)施例2:H2+e&Rarr；2H*+E-H*+非揮發(fā)性金屬氧化物；RARR；金屬+H2O從反應(yīng)公式可以看出，氫等離子體可以通過化學(xué)反應(yīng)去除金屬表面的氧化層，清潔金屬表面。

真空等離子體處理設(shè)備的特點(diǎn)具有穩(wěn)定、性價(jià)比高、操作簡(jiǎn)單、使用成本極低、易于維護(hù)等特點(diǎn)。對(duì)金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等各種幾何形狀、不同外表面粗糙度的物體外表面進(jìn)行超清洗改性，金屬表面涂層處理去除物體外表面有機(jī)污染物，定期快速處理，清洗效率高，綠色環(huán)保，不使用化學(xué)溶劑，對(duì)物體和環(huán)境無二次污染，常溫超級(jí)清洗，對(duì)物體無損處理。

金屬表面涂層處理

一種是利用各種表面改性技術(shù)產(chǎn)生新的表面活性層，從而改變表面和界面的基本特性。另一種方法是利用功能膜或表面成型技術(shù)對(duì)原表面進(jìn)行涂覆。兩者的目的都是使材料具有多種表面性質(zhì)或同時(shí)具有。因此，開發(fā)了許多可用的表面處理技術(shù)。如化學(xué)濕法、電子束或紫外干法、表面活性劑添加劑、真空蒸金屬化等。而干法處理技術(shù)采用等離子表面處理設(shè)備。它不僅可以改變表面結(jié)構(gòu)，控制界面的物理特性，還可以根據(jù)需要涂膜。

第五步：等待等離子清洗機(jī)完成清洗時(shí)間和泄壓，打開腔門，用鑷子取出清洗后的金屬材料樣品，放在白紙上。第六步：用移液槍將幾滴蒸餾水逐漸滴到清洗后的重油漬金屬材料上，仔細(xì)觀察水滴的形狀和擴(kuò)散情況。然后與測(cè)試結(jié)果對(duì)比，清洗前滴在金屬表面的水滴呈圓形，形成一滴90度接觸角的水滴，清洗前金屬材料是疏水性的。

拋光后的靶材表面通常涂有涂層（也叫犧牲層，通常是有機(jī)黑漆、膠帶或鉛、鋅、鋁等薄金屬箔）。利用較高的峰值功率密度，將短脈沖光束通過聚焦透鏡聚焦成毫米級(jí)光斑，再通過透明約束層（通常是水或玻璃）照射到鍍膜表面。涂層充分吸收高能能量，在極短時(shí)間內(nèi)爆炸性汽化。蒸氣繼續(xù)吸收能量產(chǎn)生高壓等離子體層，其向外彈射受到約束層的約束，爆炸產(chǎn)生高壓沖擊波，從而產(chǎn)生從靶面向內(nèi)傳播的強(qiáng)應(yīng)力波。

經(jīng)過等離子表面處理后，不僅可以增強(qiáng)對(duì)膠水的適用性，還可以不依賴專用膠水實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量粘接。而且，提高了表面的鋪展性能，防止了氣泡等的產(chǎn)生。最重要的是，經(jīng)過常壓等離子體處理后，紙箱生產(chǎn)企業(yè)可以得到成本更低、效率更高的高檔產(chǎn)品。表面清洗活化及涂層等離子體處理技術(shù)大氣等離子體處理是最有效的表面清潔、活化和涂層工藝之一，可用于處理各種材料，包括塑料、金屬或玻璃。

金屬表面涂層處理

2.適應(yīng)性廣：不管要處理的基板類型，金屬表面的漆怎么除掉都可以處理，如玻璃、金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料。3.低溫：接近常溫，不會(huì)破壞玻璃表面原有特性。4.成本低：裝置簡(jiǎn)單，操作維護(hù)方便，可連續(xù)運(yùn)行。5.處理后的玻璃形狀不限：大的或小的，簡(jiǎn)單的或復(fù)雜的，都可以處理。