對于形狀復(fù)雜的襯底，金屬電極式電暈處理系統(tǒng)如表面有細小的溝槽或螺紋，復(fù)雜形狀附近的電暈滲氮設(shè)備參數(shù)分布會有所不同，引起周圍電場的變化，從而改變該區(qū)域的離子濃度和離子轟擊能量。如果采用常規(guī)電暈滲氮，電暈鞘層更容易發(fā)生離子碰撞，導(dǎo)致離子能量下降，更難激活更多氧化物金屬表面，如不銹鋼。這種復(fù)雜的襯底條件也導(dǎo)致區(qū)域溫度過熱，氮化特性有別于其他襯底條件。
目前，電暈處理安全操作規(guī)程可再生燃料電池主要應(yīng)用于航天器和宇宙飛船的混合儲能系統(tǒng)和便攜式能源系統(tǒng)。有些電池的極板是由鍍在金屬條上的正負極材料制成的。在電極材料上鍍金屬條時，需要對金屬條進行清洗，電暈干洗可以有效處理。電暈清洗是干洗的一種，主要依靠電暈中活性離子的活化來去除表面污漬。本發(fā)明能有效清除電池內(nèi)的污垢和灰塵，為電池焊接提前做好準備，減少不良產(chǎn)品。
襯底或中間層是BGA封裝中非常重要的部分，電暈處理安全操作規(guī)程除了使用除互連布線外，還可用于阻抗控制和電感/電阻/電容集成。因此，襯底材料應(yīng)具有較高的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度rS（約175～230℃)、較高的鱗片穩(wěn)定性、較低的吸濕性、良好的電性能和較高的可靠性。金屬膜、絕緣層和基底介質(zhì)也應(yīng)具有較高的粘附功能。
晶圓鍵合區(qū)和框架關(guān)鍵區(qū)的質(zhì)量是影響集成電路半導(dǎo)體器件可靠性的關(guān)鍵因素。芯片封裝是半導(dǎo)體器件與電子系統(tǒng)之間的連接，電暈處理安全操作規(guī)程鍵合區(qū)必須無污染物且具有良好的鍵合特性。如果鍵合區(qū)存在污染物，則會嚴重削弱鍵合區(qū)的鍵合性能，容易造成金絲焊在鍵合區(qū)上；即使是焊接，也會造成將來電路滿載運行時鍵合合金球與芯片的鍵合區(qū)脫落，導(dǎo)致半導(dǎo)體器件功能失效。目前，造成粘接區(qū)污染的物質(zhì)主要是氧化物和有機殘留物。
電暈處理安全操作規(guī)程
電暈清洗技術(shù)增強了材料的表面活性，為汽車的改進帶來了很大的空間。以下是電暈清洗技術(shù)在汽車制造過程中的一些應(yīng)用：動力系統(tǒng)和控制系統(tǒng)--提高汽車電子產(chǎn)品的可靠性汽車動力和控制系統(tǒng)中使用了大量功能復(fù)雜的電子系統(tǒng)，這些汽車電子產(chǎn)品需要進行可靠的密封，以提高部件的防潮、防腐蝕能力。
借助電暈電暈中的離子或高活性原子，敲除表面污染物或形成揮發(fā)性氣體，再由真空系統(tǒng)帶走，實現(xiàn)表面清潔目的。電暈形成過程中，在高頻電場中處于低壓狀態(tài)的氧氣、氮氣、甲烷、水蒸氣等氣體分子，在輝光放電條件下可分解為加速原子和分子。這樣產(chǎn)生的電子在電場中加速時，會獲得高能量，與周圍的分子或原子發(fā)生碰撞。因此，電子在分子和原子中被激發(fā)，它們處于被激發(fā)或離子狀態(tài)。此時，物質(zhì)存在的狀態(tài)是電暈狀態(tài)。
電暈是氣態(tài)完全或部分電離產(chǎn)生的非凝聚系統(tǒng)，稱為&ldquo；電離&rdquo；它是指至少有一個電子從原子或分子中分離出來，使原子或分子轉(zhuǎn)化為帶正電荷的離子。該系統(tǒng)包括原子、分子和離子的激發(fā)態(tài)和亞穩(wěn)態(tài)。系統(tǒng)中的正負電荷數(shù)相等，宏觀上是電中性的。電暈技術(shù)在材料科學中的應(yīng)用尤為顯著。新材料的開發(fā)是通過電暈技術(shù)對其表面進行改性，以達到更高性能，是目前新材料研發(fā)的重要手段。
結(jié)果表明，激發(fā)頻率為13.56MHz的氫氣和氬氣混合氣體能有效去除鉛結(jié)構(gòu)金屬層上的污染物，氫電暈?zāi)苋コ趸铮瑲咫x子化能促進氫電暈數(shù)量的增加。。電暈廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)、手機制造、汽車制造、紡織工業(yè)、生物醫(yī)藥、新能源工業(yè)和航空航天等領(lǐng)域。
金屬電極式電暈處理系統(tǒng)
由于非平衡電暈機中電子的勢能分布不同于重粒子，金屬電極式電暈處理系統(tǒng)它們處于不平衡狀態(tài)，可以認為含電子的氣體溫度遠高于含中性粒子和離子的氣體。為此，高能電子在碰撞下激發(fā)氣體分子，或使氣體分子分解電離。這個過程中產(chǎn)生的自由基可以分解發(fā)射分子。材料在化學作用下可以實現(xiàn)化學轉(zhuǎn)化。利用電暈機的化學效應(yīng)實現(xiàn)分子分解比單純依靠電暈機的熱效應(yīng)更有效。在許多情況下，有毒排放物的分子很薄。
電暈可以提高任何材料的表面活性，電暈處理安全操作規(guī)程安全、環(huán)保、經(jīng)濟。電暈清洗的機理主要取決于&ldquo；激活&rdquo；達到去除物體表面污漬的目的。就反應(yīng)機理而言，電暈清洗通常包括以下過程：無機氣體被激發(fā)成電暈態(tài)；氣相物質(zhì)吸附在固體表面；被吸附著基團與固體表面分子反應(yīng)形成產(chǎn)物分子；產(chǎn)物分子分解形成氣相；反應(yīng)殘留物從表面除去。。
