清洗階段中，泉州真空等離子清洗分子泵組高能電子撞擊反應(yīng)氣體分子，使其離解或電離，利用多種粒子轟擊清洗表層或與清洗表層發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，有效的清除多種污染物質(zhì)；它還能夠增強材料自身的表層性能指標(biāo)，如增強表層的濕潤性能指標(biāo)和膜的附著性，這在眾多應(yīng)用中十分關(guān)鍵。

能量密度與CH4轉(zhuǎn)化率和C2烴收率的關(guān)系近似呈對數(shù)關(guān)系。當(dāng)能量密度低于 0kJ/mol時，泉州真空等離子清洗分子泵組CH4轉(zhuǎn)化率和C2烴收率隨能量密度的增加快速增加;當(dāng)能量密度超過 0kJ/mol后，CH4轉(zhuǎn)化率和C2烴收率隨能量密度的增加增長速度放慢。 說明在此反應(yīng)中，能量密度的增加并不意味著能量效率隨之增加，相反卻有下降的趨勢。因此從能量效率角度出發(fā)，應(yīng)選擇合適的能量密度。

如將噴涂后的制品在蒸氣壓力為O．15MPa、溫度為125℃的水蒸氣環(huán)境中做6h蒸氣浴，泉州真空等離子清洗分子泵組便可使大部分非晶態(tài)HA相轉(zhuǎn)變成晶態(tài)，而且噴涂時產(chǎn)生的其他分解產(chǎn)物也會恢復(fù)為晶態(tài)HA相，使涂層的穩(wěn)定性得以提高一結(jié)晶態(tài)的羥基磷灰石涂層具有很好的穩(wěn)定性，但相對于無定形態(tài)的羥基磷灰石涂層，由于其表面致密度的提高。同時也減損了它的成骨誘導(dǎo)性。因此，在實際制備過程要根據(jù)材料的具體使用要求進(jìn)行取舍，選擇適合的工藝條件。

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