由于大多數(shù)活性種的透過力較小，它僅限于對(duì)材料表面的反應(yīng)，對(duì)整體材料不會(huì)產(chǎn)生影響，但能在短時(shí)間內(nèi)有效地改變其表面特征。表面改性等離子體可分為等離子聚合和等離子處理。這一差異取決于所用的氣體種類。這一聚合氣體的方法被稱為等離子聚合，而不是聚合氣稱之為等離子。
對(duì)非聚合氣來說，化學(xué)上具有活性或不起作用的成分，將導(dǎo)致反演差異很大。電漿中的惰性氣體如He、Ne、Ar，沒有化學(xué)反應(yīng)，但是其活性原子能在基體表面產(chǎn)生物理作用，并起到表面的凈化和除銹作用。
例如H2、O2、N2等具有活性的氣體，在等離子體中可以發(fā)生各種化學(xué)反應(yīng)，從而生成官能團(tuán)。聚合物的聚合反應(yīng)和腐蝕等現(xiàn)象。通常使用等離子O2來改善表面結(jié)合力。在等離子體處理過程中，大部分有機(jī)高聚物產(chǎn)生了親水性的含氧官能團(tuán)，使其表面能增強(qiáng)，從而改善了表面的結(jié)合力。24516