用于大型腔體時(shí),長(zhǎng)沙pet附著力樹(shù)脂報(bào)價(jià)具有等離子體能量高、等離子體密度低、無(wú)需匹配、成本低等特點(diǎn)。公約為5千瓦至20千瓦。激發(fā)頻率為13.56MHz的等離子體為射頻等離子體,其回波既有物理回波又有化學(xué)回波;常用的Z電源,其特點(diǎn)是等離子體能量低,但等離子體密度高。效果均勻,但成本略高。慣例是瓦特對(duì)0瓦特。
微波諧振腔是MPCVD裝置中的核心部件,長(zhǎng)沙pet附著力樹(shù)脂不同的射頻等離子火焰處理機(jī)微波諧振腔構(gòu)造會(huì)影響電場(chǎng)強(qiáng)度及分布,從而影響等離子狀態(tài),等離子火焰處理機(jī)對(duì)金剛石沉積質(zhì)量和速率有相應(yīng)影響。MPCVD裝置微波諧振腔的構(gòu)造研究對(duì)于金剛石生長(zhǎng)方面是有著價(jià)值的。
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假設(shè)你相信。。太陽(yáng)也是等離子,長(zhǎng)沙pet附著力樹(shù)脂報(bào)價(jià)但如果釋放過(guò)多的能量,它會(huì)燃燒嗎?長(zhǎng)期以來(lái),人類對(duì)太陽(yáng)懷有一種神秘的崇拜,創(chuàng)造巨大的圖像,歌唱太陽(yáng)的巨大,寫(xiě)詩(shī)。即使在今天,人們?nèi)匀豢释?yáng)光。它。愛(ài)。如果說(shuō)水是我們生活中不可缺少的物質(zhì),那么太陽(yáng)也是我們生活中不可缺少的物質(zhì)。太陽(yáng)給我們的地球帶來(lái)了一切,給了我們光和熱,給了我們顏色,給了我們氧氣和光合作用,沒(méi)有太陽(yáng),我們的地球陷入了黑暗。
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1、電容耦合等離子體機(jī)臺(tái):在兩個(gè)平行板電容器上施加高頻電場(chǎng),反應(yīng)腔室中初始電子在射頻電場(chǎng)的作用下獲得能量,轟擊蝕刻氣體使其電離,產(chǎn)生更多的電子、離子以及中性的自由基粒子,形成動(dòng)態(tài)平衡的低溫等離子體。在射頻電場(chǎng)的作用下,會(huì)形成垂直于晶圓的方向的自偏壓,進(jìn)而使得離子可以獲得比較大的轟擊能量。
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