因此,特氟龍等離子體表面處理設(shè)備最初,到達(dá)絕緣體表面的電子數(shù)大于離子數(shù)。除部分復(fù)合外,電子過(guò)剩,絕緣體表面呈負(fù)電位。反對(duì)等離子。這種負(fù)電位排斥電子并吸引正離子。這個(gè)電勢(shì)也隨之變化,當(dāng)絕緣體表面的負(fù)電勢(shì)達(dá)到一定值時(shí),離子和電子的電流變相等,成為絕緣體表面的電勢(shì)。工件趨于穩(wěn)定,這意味著放置在等離子體中的絕緣體稱為浮動(dòng)基板,其表面形成的穩(wěn)定電位稱為浮動(dòng)電位。
例如,特氟龍等離子體表面處理設(shè)備可用作電子束提取窗、高頻大功率電子器件、高靈敏度彈性表面波濾波器、切削工具等。
在 250-800 NM 波長(zhǎng)范圍內(nèi),特氟龍等離子刻蝕機(jī)甲烷轉(zhuǎn)化過(guò)程中產(chǎn)生的主要活性物種。等離子體的作用是 CH(430.1 至438.7 NM)、C(563.2 NM、589.1 NM)、C2(512.9 NM、516.5 NM)和 H(434.1 NM、486.1 NM 和 656.3 NM)。在等離子體放電區(qū),首先產(chǎn)生高能電子。
此外,特氟龍等離子刻蝕機(jī)長(zhǎng)期使用時(shí),表面易氧化,電阻增大,電極層間溫差增大,放電變得不穩(wěn)定。電極的不良放電也可能是由于電極表面的污染。主要原因是,根據(jù)被加工材料的不同,真空泵不會(huì)噴出少量材料而粘附在電極表面上。如果不能定期清除,隨著時(shí)間的推移,材料會(huì)更容易堆積。被污染物堵塞。如果板體絕緣層的表面形狀被污垢堵塞,就相當(dāng)于增加了電極容量,增加了放電功率。如果電極表面被粉末或碳等污垢堵塞,電極容量會(huì)降低。
特氟龍等離子刻蝕機(jī)
等離子體振蕩是指等離子體中的電子由于慣性和離子靜電而發(fā)生的簡(jiǎn)單振動(dòng)。離子,也稱為等離子體,被認(rèn)為是物質(zhì)或超氣體的第四種形式。也就是說(shuō),它由電離的氣體、電子和非電離的中性粒子組成,整體呈電中性。通過(guò)等離子體表面處理產(chǎn)生的等離子體不必完全由離子組成。等離子表面處理器中的等離子需要不凝聚,組成等離子的粒子非常自由,粒子之間的相互作用很弱。凝聚態(tài)是由大量粒子組成的聚集態(tài),液體和固體都是很常見的凝聚態(tài)。
特氟龍等離子刻蝕機(jī)