隨著上下放電電極間距從8 mm增大到16 mm,甲烷轉(zhuǎn)化率略有峰值變化,當(dāng)放電電極間距為14 mm時(shí)為30.3%；當(dāng)放電距離為8 mm時(shí)，電暈機(jī)陶瓷電極工作原理為22.0%。放電距離在10～16毫米之間的變化對(duì)CO2的轉(zhuǎn)化率影響不大。僅在放電距離為8 mm時(shí)，CO2轉(zhuǎn)化率為21.8%。

根據(jù)電極或器件壁電位與電暈電位的關(guān)系，電暈機(jī)陶瓷電極工作原理可分為離子鞘層和電子鞘層。電極附近鞘層：設(shè)電暈電位為Vp，電極電位為Vs。當(dāng)電極電位Vs與電暈電位Vp之差均為1時(shí)，就會(huì)接通外部電路，電極中流過電流，相當(dāng)于引入一個(gè)外部電位作用于電暈。當(dāng)VsNe)。隨著電場(chǎng)的增大，在離電極一定距離內(nèi)會(huì)形成由離子組成的空間電荷層，即離子鞘層。

電暈清洗/蝕刻機(jī)的裝置是將兩個(gè)電極布置在密封的容器中形成電場(chǎng)，電暈機(jī)陶瓷電極距離用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體越來越稀薄，分子之間的距離以及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離越來越長，在電場(chǎng)的作用下，碰撞形成電暈，這些離子具有很高的活性，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，在任何暴露的表面上引起化學(xué)反應(yīng)。不同氣體的電暈具有不同的化學(xué)性質(zhì)。

真空電暈處理原理；電暈是物質(zhì)存在的一種狀態(tài)。通常情況下，電暈機(jī)陶瓷電極距離物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在某些特殊情況下，還存在第四種狀態(tài)，比如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。處于電暈狀態(tài)的物質(zhì)有以下幾種：高速運(yùn)動(dòng)的電子；處于活化狀態(tài)的中性原子、分子和原子團(tuán)（自由基）；電離原子和分子；未反應(yīng)的分子、原子等，但物質(zhì)作為一個(gè)整體保持電中性。

電暈機(jī)陶瓷電極距離

電暈材料粘接機(jī)電暈材料粘接機(jī)原理通過射頻電源在一定壓力下產(chǎn)生高能無序電暈，用電暈轟擊清洗后的產(chǎn)品表面，達(dá)到光刻膠清洗、改性、灰化的目的。電暈材料粘接機(jī)的應(yīng)用范圍：主要針對(duì)材料的表面處理，可根據(jù)需要實(shí)現(xiàn)物理變化和化學(xué)響應(yīng)。

電暈原理--表面活化與清洗電暈包括原子、分子、離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)原子、活化分子和自由基等。

在射頻電場(chǎng)作用下，會(huì)形成垂直于晶圓方向的自偏壓，使離子得到比較大的轟擊能量。在電容中在耦合電暈階段開始時(shí)只有一個(gè)射頻電源，射頻電源的變化會(huì)同時(shí)影響電暈密度和離子轟擊能量，單頻容性耦合電暈的可控性不盡如人意。多頻電容耦合電暈刻蝕機(jī)通過引入多頻外接電源，使電容耦合電暈刻蝕機(jī)的性能有了很大的提高。對(duì)于多頻外加電場(chǎng)，高頻電場(chǎng)主要控制電暈密度，低頻電場(chǎng)主要控制離子表面撞擊能。

電暈與物體表面的化學(xué)反應(yīng)可以產(chǎn)生活性化學(xué)基團(tuán)，這些化學(xué)基團(tuán)具有很高的活性，因此可用于廣泛的領(lǐng)域，如提高材料表面的粘附能力，提高焊接能力、結(jié)合、親水性等諸多方面。同時(shí)，這些特性已完美應(yīng)用于生物、醫(yī)療、手機(jī)、LED、半導(dǎo)體、光纖、汽車、零部件制造等行業(yè)。不僅提高了產(chǎn)品的質(zhì)量，而且大大增加了產(chǎn)品的耐久性。。在半導(dǎo)體封裝工業(yè)中，包括集成電路、分立器件、傳感器和光電封裝等，通常使用銅引線框架。

電暈機(jī)陶瓷電極工作原理

經(jīng)氬電暈處理后，電暈機(jī)陶瓷電極距離表面張力將明顯提高?；钚詺怏w研究所產(chǎn)生的電暈也能增加表面粗糙度，但氬離子電離后產(chǎn)生的顆粒相對(duì)較重，氬離子在電場(chǎng)作用下的動(dòng)能會(huì)顯著高于活性氣體，因此其粗化效果會(huì)更加明顯，廣泛應(yīng)用于無機(jī)基底的表面粗化過程。如玻璃基板表面處理、金屬基板表面處理等。③主動(dòng)氣體輔助在電暈的活化清洗過程中，常采用工藝氣體混合以達(dá)到較好的效果。

電暈中有正負(fù)電荷、亞穩(wěn)態(tài)分子和原子。另一方面，電暈機(jī)陶瓷電極距離當(dāng)各種活性顆粒在被清洗物體表面相互接觸時(shí)，各種活性顆粒會(huì)與物體表面雜質(zhì)的污垢發(fā)生反應(yīng)，形成揮發(fā)性氣體等物質(zhì)，從而將揮發(fā)性物質(zhì)抽入真空泵。例如，ROS電暈氧化材料表面的有機(jī)物質(zhì)。相反，各種活性顆粒會(huì)轟擊清潔材料表面，使污染在材料表面的雜質(zhì)隨真空泵的氣流被吸走。