高溫等離子體采用40kHz中頻電源,附著力高的修正帶功率可做得很高,中頻電源功率可達(dá)數(shù)萬(wàn)伏,但在實(shí)踐中,一般不需要做這么高的功率。蝕刻一般采用大功率的等離子清洗機(jī),還會(huì)增加水冷系統(tǒng)。低溫等離子體使用較多,用于低溫等離子體的13.56khz射頻電源很低。射頻電源的功率一般不是很大,Z大射頻電源也可以是5kW。低溫等離子體的溫度與正常氣候相似。根據(jù)等離子體的情況平衡等離子體:氣體壓力高,電子溫度大致等于氣體溫度的等離子體。
這些氣體在等離子體中反應(yīng)形成高活性自由基。 :這些自由基進(jìn)一步與材料表面發(fā)生反應(yīng)。反應(yīng)機(jī)理主要是利用等離子體中的自由基與材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),附著力高的修正帶壓力高時(shí)有利于自由基的產(chǎn)生,壓力開(kāi)始反應(yīng)。 (2) 物理反應(yīng)主要是利用等離子體中的離子進(jìn)行純物理沖擊,在低壓時(shí)離子的平均自由基被減輕。因此,在物理撞擊過(guò)程中,離子的能量越高,離子的撞擊力就越大。因此,如果以物理反應(yīng)為主流,則需要控制反應(yīng)壓力。
2.等離子發(fā)生器處于等離子狀態(tài): (1)等離子發(fā)生器平衡等離子:氣體壓力高,附著力高的修正帶電子溫度與氣體溫度大致相同。常壓下的電弧放電等離子體和高頻感應(yīng)等離子體。 (2)等離子發(fā)生器的非平衡等離子體:在低壓或常壓下,電子溫度遠(yuǎn)高于氣體溫度。低壓直流輝光放電、高頻誘導(dǎo)輝光放電、大氣壓下DBD無(wú)聲勢(shì)壘放電產(chǎn)生的冷等離子體等。
等離子清洗機(jī)的步驟如下:操作過(guò)程:打開(kāi)電源,將產(chǎn)品放入真空室設(shè)置工作參數(shù),如時(shí)間、能源和天然氣流動(dòng)系統(tǒng)接口——開(kāi)始工作時(shí)間——取出product1到達(dá)。操作人員應(yīng)先將設(shè)備處理過(guò)的物品轉(zhuǎn)移到反應(yīng)室。2 .操作人員關(guān)閉反應(yīng)室門(mén),家具膩?zhàn)痈嗉邮裁锤街Ω邌?dòng)程序,反應(yīng)室自動(dòng)密封。真空室將被抽到預(yù)設(shè)的真空壓力。當(dāng)真空室壓力達(dá)到預(yù)設(shè)的真空壓力時(shí),混合氣體進(jìn)入反應(yīng)室。腔內(nèi)的壓力將穩(wěn)定在這個(gè)預(yù)定的壓力狀態(tài)。
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真空等離子體處理系統(tǒng)的急停不能復(fù)位或已被按壓,需開(kāi)啟急停開(kāi)關(guān):這時(shí)要檢查急停是否被壓住,如果沒(méi)有,要檢查急停線(xiàn)。 專(zhuān)注等離子技術(shù)研發(fā)制造,如果您對(duì)設(shè)備想要有更詳細(xì)的了解或?qū)υO(shè)備使用有疑問(wèn),請(qǐng)點(diǎn)擊 在線(xiàn)客服, 恭候您的來(lái)電!。
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還可應(yīng)用到生產(chǎn)流水線(xiàn)上對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行消毒滅菌處理。等離子體滅菌作用機(jī)理: 1、活性基團(tuán)的作用:等離子體中含有的大量活性氧離子、高能自由基團(tuán)等成分,容易與細(xì)菌、霉菌及芽孢、病毒中蛋白質(zhì)和核酸物質(zhì)發(fā)生氧化反應(yīng)而變性,使各類(lèi)微生物死亡。 2、高速粒子擊穿作用:在滅菌實(shí)驗(yàn)后,通過(guò)電鏡觀察經(jīng)等離子體作用后的細(xì)菌菌體與病毒顆粒圖像,均呈現(xiàn)千瘡百孔狀,這是由具有高動(dòng)能的電子和離子產(chǎn)生的擊穿蝕刻效應(yīng)所致。
但具有活性基團(tuán)的材料受氧的作用和分子鏈運(yùn)動(dòng)的影響,表面活性基團(tuán)消失,因此等離子處理材料的表面活性具有一定的時(shí)效性。 3. 表面接枝 材料表面經(jīng)等離子體修飾后,??等離子體中的活性粒子作用于表面分子,使表面分子鏈斷裂,產(chǎn)生新的自由基、雙鍵等活性基團(tuán)。表面交聯(lián)。結(jié)合、接枝等反應(yīng)。
附著力高的修正帶