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在這個(gè)裝置中,兩個(gè)電極被放置在一個(gè)封閉的容器內(nèi)以形成一個(gè)電場(chǎng),一個(gè)真空泵提供真空。隨著氣體越來(lái)越稀薄,分子結(jié)構(gòu)與分子結(jié)構(gòu)或離子自由運(yùn)動(dòng)的距離越來(lái)越大。它們?cè)陔妶?chǎng)的作用下與等離子體碰撞形成等離子體。它的活性非常高,能量轉(zhuǎn)換足以破壞幾乎所有的離子鍵,并且在暴露的表面上會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。在真空下,等離子體對(duì)工件表面進(jìn)行化學(xué)或物理處理,以去除分子結(jié)構(gòu)水平(通常為 3 至 30 納米厚)。

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