1-1 旋片式真空泵旋片式真空泵是一種油封式機(jī)械真空泵,環(huán)氧樹脂好還是附著力好其主要的部件有泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、繃簧等。旋片式真空泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種,等離子清洗機(jī)常用的是雙級(jí)旋片式真空泵,所謂雙級(jí)旋片式真空泵便是在結(jié)構(gòu)大將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來。旋片式真空泵的泵腔內(nèi)偏心地裝有一個(gè)轉(zhuǎn)子,而轉(zhuǎn)子的外圓與泵腔的內(nèi)外表相切,一起轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個(gè)帶繃簧的旋片。
2)激活鍵能,環(huán)氧樹脂附著力和結(jié)構(gòu)交聯(lián)作用等離子體中的粒子能量在0~20eV,而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV,因此等離子體作用到固體表面后,可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂,等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu),大大地激活了表面活性。
例如,環(huán)氧樹脂附著力和結(jié)構(gòu)在高頻電場中處于低壓狀態(tài)的氧、氮、甲烷、水蒸氣等汽體分子結(jié)構(gòu)在等離子體蝕刻機(jī)中。在輝光放電的情況下,可以分解出加速運(yùn)動(dòng)的原子和分子結(jié)構(gòu),生的電子器件和分離點(diǎn)有正負(fù)電荷的原子和分子結(jié)構(gòu)。這樣形成的電子器件在電場加速時(shí)獲得高能量,與周圍的分子和原子發(fā)生沖突,在分子和原子中形成電子器件,自身處于激發(fā)狀態(tài)和離子狀態(tài),物質(zhì)存在的狀態(tài)是等離子體狀態(tài)。等離子體刻蝕機(jī)是通過人工方式獲得的。
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在等離子體中,甲烷脫氫產(chǎn)生的C2H6和C2H4與高能電子相互作用形成C2H5和C2H3等自由基,因此甲烷脫氫反應(yīng)主要產(chǎn)生以下微量C3,由此可以推斷產(chǎn)生了C4產(chǎn)物。
40kHz的自偏置約為0V, 13.56mhz的自偏置約為250V, 20MHz的自偏置更低。這三種激勵(lì)頻率具有不同的機(jī)制。40kHz的反應(yīng)是物理反應(yīng),13.56mhz的反應(yīng)是物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)。20MHz有物理反應(yīng),但更重要的反應(yīng)是化學(xué)反應(yīng)。對(duì)于需要活化修飾的材料,40kHz的自偏置約為0V, 13.56mhz的自偏置約為250V, 20MHz的自偏置更低。三種激勵(lì)頻率具有不同的機(jī)制。
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原子團(tuán)等自由基與物體表面的反應(yīng) 由于這些自由基呈電中性,存在壽命較長,而且在等離子體中的數(shù)量多于離子,因此自由基在等離子體中發(fā)揮著重要的作用。
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