高能電子衍射(RHEED)分析表明，劃格法 測(cè)附著力等離子體處理的SiC表面比傳統(tǒng)濕法處理的SiC表面更平坦，表面出現(xiàn)(1×1)結(jié)構(gòu)。等離子體清洗機(jī)等離子體氫處理可有效去除表面碳污染，暴露在空氣中30分鐘后發(fā)現(xiàn)，等離子體處理后的SiC表面氧含量明顯低于傳統(tǒng)濕法清洗的表面，等離子體處理后的表面抗氧化性明顯提高，為制造歐姆接觸、低界面態(tài)的MOS器件奠定了良好基礎(chǔ)。。
附著力（漆膜附著力劃格法 判定）.jpg)
整個(gè)清洗過程可在幾分鐘內(nèi)完成，漆膜附著力劃格法 判定因此具有收率高的特點(diǎn)；等離子體清洗需要控制真空度在Pa左右，這種清洗條件很容易達(dá)到。
1.拆下排氣閥座蓋，劃格法 測(cè)附著力折疊強(qiáng)力蓋螺絲取下蓋，注意不要損壞密封圈。 2.拆卸平板電腦的排氣閥壓板。 3. 拆下排氣閥。拆卸真空等離子表面處理機(jī)的真空泵轉(zhuǎn)子。 1.拆下轉(zhuǎn)子固定螺釘。 2.取下小螺帽，同時(shí)檢查小螺帽是否磨損。 3. 拆卸二級(jí)轉(zhuǎn)子。檢查缸腔和二級(jí)旋片是否磨損，檢查油路是否堵塞。拆下真空等離子表面處理機(jī)真空泵的止回閥。 1.拆下真空泵進(jìn)氣口的固定螺絲，取出進(jìn)氣口，注意不要損壞密封圈。
等離子體技術(shù)應(yīng)用的優(yōu)點(diǎn)（傳統(tǒng)的工藝相比較）： 1 不會(huì)改變基體固有性能，劃格法 測(cè)附著力改性作用僅僅發(fā)生在表面，約幾到幾十個(gè)納(米)。如半導(dǎo)體納(米)蝕刻。 2 全程干燥的處理方式（干式法） ，無需溶解劑和水，幾乎不產(chǎn)生污染，因而節(jié)約能源，降(低)成本。 3 作用時(shí)間短，反應(yīng)速率高，加工對(duì)象廣，能顯著提高產(chǎn)品質(zhì)量。 4 工藝簡(jiǎn)單、操作方便，生產(chǎn)可控性強(qiáng)，產(chǎn)品一致性好。 5 屬于健康型工藝，對(duì)操作人員身體無傷害。
漆膜附著力劃格法 判定
與傳統(tǒng)燃燒技術(shù)相比，等離子處理技術(shù)具有環(huán)保、處理徹底、無二次污染、低碳排放等特點(diǎn)。它是一種能徹底吹除各種有毒有毒物質(zhì)，有效去除污染，可廣泛應(yīng)用的新技術(shù)。。等離子清洗機(jī)用途廣泛。在手機(jī)行業(yè)、噴涂行業(yè)、橡塑行業(yè)，在噴涂前采用等離子表面活化處理，以提高產(chǎn)品的表面清潔度和表面活性，在大氣壓下受到高壓激發(fā)，點(diǎn)燃等離子。等離子體在壓縮空氣的幫助下從噴嘴噴出。
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