可以看出通過等離子清洗過后，聚醚醚酮金屬附著力產(chǎn)品的性能改變得到了很顯著的提升。的優(yōu)點： 處理速度快、清潔效率高、可靠度高 可控制低的離子能量、不損傷基板 。結(jié)合化學(xué)反應(yīng)性及物理撞擊性，處理均勻性佳，設(shè)備可移除氧化物，可使用多種制程氣體，設(shè)備穩(wěn)定高，容易維護(hù)。

。工作壓力對等離子清潔效果的干擾: 工作壓力是等離子清潔的重要參數(shù)之一。壓力的提升意味著等離子密度的提升和粒子平均能量的減低。化學(xué)反應(yīng)主導(dǎo)的等離子密度的提升可以顯著提高等離子系統(tǒng)的清潔速度，聚醚醚酮金屬附著力而物理轟擊主導(dǎo)的等離子清潔系統(tǒng)效果并不明顯。此外，壓力的變化可能會致使等離子清潔反應(yīng)機制的變化。

一層面，提升聚醚醚酮的表面附著力低溫等離子發(fā)生器利用其高能顆粒的物理作用清洗易氧化或還原的物體，Ar+轟擊污垢形成揮發(fā)性污垢，由真空泵抽走，避免表面原料反應(yīng)；另一方面，Ar容易形成亞穩(wěn)態(tài)原子，接著在與氧氫分子碰撞時轉(zhuǎn)換和組合電荷，在物體表面形成氧氫活性原子。。

一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾分鐘。清洗完畢后切斷高頻電壓，提升聚醚醚酮的表面附著力并將氣體及汽化的污垢排出，同時向真空室內(nèi)鼓入氣體，并使氣壓升至一個大氣壓。給一組電極通上射頻電源，電極之間形成高頻交變電場，區(qū)域內(nèi)氣體在交變電場的激蕩下，形成等離子體，活性等離子對物體表面進(jìn)行物理轟擊與化學(xué)反應(yīng)雙重作用，使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì)，經(jīng)過抽真空排出，而達(dá)到表面處理的目的。。

提升聚醚醚酮的表面附著力

等離子體又稱等離子體，是一種被電離的氣體物質(zhì)，由原子失去一些電子和原子電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成。它廣泛存在于宇宙中，常被認(rèn)為是除固體、液體和氣體外物質(zhì)存在的第四種狀態(tài)。等離子體可分為兩類:高溫等離子體和低溫等離子體。低溫等離子體的電離率低，電子溫度遠(yuǎn)高于離子溫度，離子溫度甚至可以媲美室溫。

為便于比較，現(xiàn)將三種活化條件下的CO2氧化CH4制C2烴反應(yīng)的結(jié)果列于表4-3，由表4-3 可見：在催化活化法中，當(dāng)反應(yīng)溫度高達(dá)1 K時，甲烷可以轉(zhuǎn)化為C2烴，雖然C2烴選擇性較高，但甲烷轉(zhuǎn)化率很低，因此C2烴收率僅為2%。

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聚醚醚酮金屬附著力