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等離子設備分類:等離子設備的分類: ① Jet AP等離子加工機系列(2)自動X/Y軸AP等離子處理系統(tǒng)③ 真空等離子裝置系列⑤ AP寬幅等離子加工機系列④ 大氣輝光等離子清洗機系列真空等離子設備/常壓等離子處理設備又稱低溫等離子處理設備、等離子處理設備、等離子處理設備、低溫等離子表面處理設備、等離子處理設備、等離子處理設備、等離子清洗機、等離子處理機。是一個標題。

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因此磁性存儲器的等離子清洗機等離子體蝕刻面臨的挑戰(zhàn)有: ①傳統(tǒng)反應等離子體(RIE)面臨金屬蝕刻副產物的非揮發(fā)性問題; ②超薄單層材料堆疊的結構對蝕刻選擇比和方向性的要求極高; ③金屬蝕刻常用的鹵素氣體極易腐蝕超薄的金屬材料層.尤其是隧道勢壘多為金屬氧化物,在垂直磁隧道結中的厚度多小于3nm,極易被腐蝕從而影響固定層和自由層的電氣隔離( Electrically Isolated); ④工藝溫度的限制,如大部分金屬材料的磁性在超過200°C后會下降。

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