二、C4F等離子刻蝕機注意事項（1）四氟化碳氣體雖然無毒不燃，防銹漆附著力差但濃度高時會引起窒息麻醉。因此，使用時應注意氣路的密封，推薦使用防爆管道。（2）為了保證過程的穩(wěn)定性，需要專門的流量控制器。（3）四氟化碳參與反應會產生氫氟酸，排放的廢氣為有害氣體，需要處理后排放；（4）使用四氟化碳的等離子清洗機建議配備防銹干式真空泵。

汽車、摩托車制造、維修發(fā)動機缸體、缸蓋、連桿、轉向器、軸承、減震器、變速箱、齒輪、前后殼體橋、濾清器、緊固件、閥門、點火開關、燃油泵、油箱、蓄電池電極、活塞環(huán)的潤滑脂、7、光學器件、液晶顯示:光學鏡頭、鏡頭、相機、顯微鏡鏡頭、手機、電腦LCD、液晶玻璃鍍膜前清洗、蝕刻后清洗、澆注后清洗液晶;主要清洗螺桿、噴嘴、齒輪、彈簧、軸承、引線架、升降機械、全封閉壓縮機、熱交換器、精密閥門磨料、鐵屑、防銹劑、復合劑、冷卻油、拋光、氧化物等。

LED封裝采用噴射冷等離子炬處理接合面，防銹漆附著力差顯著提高了接合強度，降低了成本，接合質量穩(wěn)定，產品一致性好，可實現(xiàn)無塵清潔環(huán)保。這是提高半導體行業(yè)產品質量的最佳解決方案。由于噴射式常壓低溫等離子表面處理機噴出的低溫等離子炬為中性粒子，無需帶電即可安全使用，廣泛用于光學鏡頭和電子零件。電鍍件、汽車零件、表殼表帶、水晶 1、機械行業(yè)：防銹除油、量具清洗、機械零件除油除銹、發(fā)動機、化油器、汽車零件清洗、疏通清洗等。

2、等離子體清洗的機理由于等離子體中電子、離子、自由基等活性粒子的存在，防銹漆附著力差很容易與固體表面發(fā)生反應。等離子體清洗主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化”來去除物體表面的污漬。就反應機理而言，等離子體清洗通常包括以下過程:無機氣體被激發(fā)到等離子體狀態(tài);氣相物質被吸附在固體表面;被吸附基團與固體表面分子反應形成產物分子。產物分子被分析形成氣相。反應殘渣從表面脫落。

無機富鋅防銹漆附著力不好

凈化后的氣體由排氣管排放到高地。低溫等離子技術的特點： 1.技術高端，工藝簡單：機器開機后自行工作。它很少受工作條件的限制，不需要專人操作。除臭率可達99%。 2、節(jié)能：無機械設備，風阻低，耗電量約0.003KW/M3廢氣。 3、使用條件范圍廣：設備可快速啟停，可隨時開啟，不受溫度影響。即使在250°C以下的有霧環(huán)境中也能正常工作。即使在-50°C至+ 50°C的環(huán)境溫度下也能正常工作。

等離子體清洗主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化”來去除物體表面的污漬。就反應機理而言，等離子體清洗通常包括以下過程:無機氣體被激發(fā)到等離子體狀態(tài);氣相物質被吸附在固體表面;被吸附基團與固體表面分子反應形成產物分子。產物分子被分析形成氣相。反應殘渣從表面脫落。轉換失敗。

現(xiàn)有封裝工藝是在粘片前對空的管殼進行清洗， 而在粘片后和鍵合前沒有清洗這道工序，這使得粘片 過程中的粘污無法得到有效去除。在粘片工藝過程控 制較好時，對后續(xù)的鍵合工藝影響較小，對電路的影響也很難察覺；粘片工藝過程控制不好容易出現(xiàn)引線粘污，鍵合容易脫鍵，電路在抗沖擊或老化篩選實驗 中容易出現(xiàn)失效。

小型柱狀真空等離子清洗機的電極結構：平面垂直和垂直電極的缺點是如果兩個電極之間的產品或材料的面積很大，并且頂部沒有孔或間隙，更換回路等離子形成不好，那么表面處理效果就會降低。采用圓柱形垂直圓柱電極，將等離子放電集中在每個電極周圍而不阻塞，大大提高了治療效果。由于卷筒式小型真空等離子清洗機的電極結構難以用普通等離子清洗機進行處理，如薄膜、卷材、材料等，因此有復卷、復卷、等離子處理裝置。

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此外，防銹漆附著力差氧化層的結合質量也不好。