DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE (DBD) 介質(zhì)阻擋放電 (DBD) 是一種在放電空間中插入絕緣介質(zhì)的非平衡氣體放電,iso附著力也稱(chēng)為介質(zhì)阻擋電暈放電或無(wú)聲放電。介質(zhì)阻擋放電在高壓和寬頻率范圍內(nèi)工作,正常工作壓力為104-106。電源頻率可以從50HZ到1MHZ。電極結(jié)構(gòu)有多種設(shè)計(jì)形式。在兩個(gè)放電電極之間填充特定的工作氣體,并用絕緣介質(zhì)覆蓋一個(gè)或兩個(gè)電極。
例如,ISO附著力的規(guī)范日本與關(guān)西電力公司聯(lián)合研制的直流±500kV氣體絕緣開(kāi)關(guān)柜(gas-insulated switchgear,GIS)在安南變電站以±250kV的電壓長(zhǎng)期運(yùn)行。 ABB使用在AC550kV和800kVGIS組件基礎(chǔ)上開(kāi)發(fā)的DCGIS。 ,其長(zhǎng)期工作電壓為±500kV。通過(guò)更高的絕緣裕度來(lái)保證直流氣體絕緣設(shè)備的安全運(yùn)行,不僅設(shè)備體積增大,而且經(jīng)濟(jì)效益低,并不會(huì)導(dǎo)致直流GIL的大規(guī)模推廣。嗯。
Krishnan等發(fā)現(xiàn)將ICP金屬蝕刻反應(yīng)腔室高度從8cm減少到5cm,iso附著力晶圓表面電場(chǎng)強(qiáng)度顯著增強(qiáng)。等離子體密度的增加導(dǎo)致電荷充電,引起了嚴(yán)重的器件損傷。 (2)等離子體局部不均勻性。在均勻等離子體中,離子和電子電流在一個(gè)RF周期中局 部平衡,此時(shí)柵氧化層電勢(shì)很小,但在非均勻等離子體中,局部范圍內(nèi)的電勢(shì)不均衡會(huì)在晶圓表面產(chǎn)生電流路徑,從而引起柵氧化層損傷。
作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的等離子設(shè)備制作企業(yè),iso附著力公司擁有由多位資深工程師組成的專(zhuān)業(yè)研制團(tuán)隊(duì),配備有完善的研制實(shí)驗(yàn)室,與多所尖端院校及科研單位開(kāi)展協(xié)作,取得多項(xiàng)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)和國(guó)家發(fā)明專(zhuān)利?,F(xiàn)已經(jīng)過(guò)ISO9001質(zhì)量管理體系、CE、高新技術(shù)企業(yè)等多項(xiàng)認(rèn)證??蔀榭蛻?hù)供給真空式、大氣式、多系列標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型及特殊定制服務(wù)。以杰出的質(zhì)量,滿足不同客戶(hù)的工藝及產(chǎn)能需求。
ISO附著力的規(guī)范
集中自主設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)等離子清洗加工系統(tǒng),產(chǎn)品包括大氣等離子處理設(shè)備、真空等離子清洗機(jī)、寬等離子清洗機(jī)等,通過(guò)ISO9001質(zhì)量認(rèn)證卷系統(tǒng)及歐洲CE認(rèn)證,為電子、半導(dǎo)體、汽車(chē)、醫(yī)療、工業(yè)制造、光伏發(fā)電等領(lǐng)域客戶(hù)提供一體化等離子解決方案。。本實(shí)用新型專(zhuān)利技術(shù)提供了一種等離子體處理裝置,包括具有腔體的殼體和位于腔體內(nèi)的極板,極板上設(shè)有冷卻流體介質(zhì)流過(guò)的流道。
專(zhuān)注等離子設(shè)備20年,如果您對(duì)等離子清洗機(jī)感興趣或者想了解更多請(qǐng)點(diǎn)擊在線客服咨詢(xún),等待您的來(lái)電!。一些日本等離子清洗機(jī)品牌在一些日本特色半導(dǎo)體、面板和新材料等行業(yè)和市場(chǎng)應(yīng)用領(lǐng)域也取得了良好的效果。因此說(shuō)日本的等離子清洗機(jī)品牌設(shè)備質(zhì)量過(guò)硬,是有一定道理的,但也需要尋找一些有代表性的可靠品牌,如大和大和、SEKISUI水、松下等。。
等離子清洗機(jī)可以清洗基片表面污染物(氧化物、含碳?xì)浠衔锏龋?、增加膜基結(jié)合力、減少基底缺陷、增加基片表面能,提高后續(xù)鍍膜層在復(fù)合板表面的附著力。。宇航電子產(chǎn)品、厚膜混合集成電路由于尺寸小、電路密集、焊盤(pán)間距小、裝配密度高等特點(diǎn),在裝聯(lián)過(guò)程中引入的微小污染物和氧化物,會(huì)對(duì)鍵合性能、電性能等造成惡劣影響,從而影響了長(zhǎng)期可靠性。等離子清洗有別于傳統(tǒng)的超聲、機(jī)械清洗,具有無(wú)損傷、無(wú)振動(dòng)的特點(diǎn)。
,高效率;(5)等離子清洗的最大技術(shù)特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的各種基材的處理,如金屬、半導(dǎo)體、氧化物、高分子材料(聚丙烯、聚氯乙烯、四氟乙烯等)。做。聚(6)等離子清洗可用于在去污過(guò)程中改變材料本身的表面特性,如改善表面潤(rùn)濕性、改善性能、改善薄膜附著力等。 3.1 等離子灰化 表面的有機(jī)層受到如下圖所示的化學(xué)沖擊。在真空和瞬間高溫下,污染物會(huì)部分蒸發(fā),污染物會(huì)被高溫沖擊破壞。由能量離子和真空提取。
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鞋子經(jīng)過(guò)等離子表面處理機(jī)處理后,iso附著力鞋子需要粘接劑的表面附著力大大提高,不需要使用國(guó)際進(jìn)口高檔膠水,用普通膠水可以保證鞋子牢固,永不開(kāi)膠。運(yùn)動(dòng)鞋。在橡膠和塑料行業(yè):一些橡膠和塑料零件表面的連接會(huì)出現(xiàn)焊接困難,這是因?yàn)榫郾?聚四氟乙烯和其他橡膠塑料材料沒(méi)有極性,這些材料在印刷沒(méi)有表面處理,結(jié)合,涂層和其他效果很差,甚至不能進(jìn)行。
方型扁平封裝和細(xì)長(zhǎng)小型封裝是現(xiàn)階段封裝密度趨勢(shì)標(biāo)準(zhǔn)下的兩種類(lèi)型。這幾年以來(lái),iso附著力球柵列陣封裝被判定是一類(lèi)規(guī)范的封裝類(lèi)型,尤其是塑料球柵列陣封裝,每年提供數(shù)百萬(wàn)。現(xiàn)階段,等離子體表面處理儀廣泛應(yīng)用于PBGAs和倒裝晶片過(guò)程中以及其他基于聚合物的襯底,以便于粘結(jié)和減低分層。對(duì)于IC封裝中,等離子體表面處理儀通常需要考慮以下幾個(gè)問(wèn)題:芯片的粘接、引線前的清洗。