帶電粒子的這一性質(zhì)和動能在磁力作用下不發(fā)生變化，涂膜的附著力應(yīng)不小于因此帶電粒子受到特定形式的非均勻磁場的束縛。例如，地球磁場捕獲帶電粒子以形成地球輻射帶（范艾倫帶）。用于熱核聚變的受控磁鏡裝置也利用這一特性來限制等離子體。。等離子波形非常復(fù)雜。既有橫波（波矢k垂直于電場E）和縱波（k平行于E），又有非橫波和非縱波之分。有橢圓偏振波、圓偏振波和線偏振波。波的相速度可以大于、等于或小于光的真空速度c。

等離子體中的電子的方向性低于離子也就是說，涂膜的附著力測定方法有電子入射角分布大于離子入射角分布，容易用光刻膠屏蔽，陽離子聚集在蝕刻前端，在器件中形成正電位。 (4) 反向電子遮蔽效應(yīng)。 ESE 發(fā)生在圖案緊密的區(qū)域，例如小于 0.5 μm 的圖案間隔。相反，在圖案的開放區(qū)域，例如，當(dāng)圖案間距超過 2 μm 時，由于電子的各向同性性質(zhì)。

在等離子體脈沖技術(shù)的斷電階段，涂膜的附著力測定方法有產(chǎn)生大量負(fù)離子并通過通過平行的碳板，通過分離電子形成中性粒子束。與正離子相比，負(fù)離子在通過平行碳板時更容易被中和，主要是因?yàn)樨?fù)離子分離電子的能量遠(yuǎn)小于正離子轉(zhuǎn)移電荷的能量，因此負(fù)離子的中和效率遠(yuǎn)高于正離子。例如，氯負(fù)離子的中和效率可以接近100%，而氯正離子的中和效率只有60%左右。

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一般認(rèn)為，低溫等離子體設(shè)備根據(jù)其系統(tǒng)的能態(tài)、溫度和離子密度可分為高溫等離子體和低溫等離子體。前者電離度接近1，各粒子溫度基本相同，體系處于熱力學(xué)不平衡狀態(tài)，溫度一般為5&倍；104K以上，主要用于研究受控?zé)岷朔磻?yīng)；后一類粒子的溫度不同，電子溫度遠(yuǎn)高于離子溫度，體系處于熱力學(xué)不平衡狀態(tài)，宏觀溫度較低，一般氣體放電產(chǎn)生的等離子體就屬于這一類；它與現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)密切相關(guān)。

離子在宇宙的其他地方很豐富，但僅限于地球上的某些環(huán)境中。自然產(chǎn)生的離子包括閃電和極光。正如將固體變成氣體需要能量一樣，產(chǎn)生離子也需要能量。隨著溫度的升高，物質(zhì)從固態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)，液態(tài)變?yōu)闅鈶B(tài)。當(dāng)氣體溫度升高時，氣體分子被分離成原子。隨著溫度繼續(xù)升高，原子核周圍的電子與原子分離，形成離子（正電荷）和電子（負(fù)電荷）。這種現(xiàn)象稱為“電離”。通過電離而帶有離子的氣體稱為“等離子體”。

與傳統(tǒng)的化學(xué)清洗相比，等離子體清洗具有以下優(yōu)點(diǎn):1)等離子體清洗不需要加熱處理，在室溫或低溫環(huán)境下具有高效的清洗效果;2)等離子體避免了濕式化學(xué)清洗中酸、堿或有機(jī)溶劑引起的腐蝕危險，3)等離子清洗，不產(chǎn)生廢液，保護(hù)環(huán)境。

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