你知道兩種類型-真空等離子清洗機(jī)的控制方法嗎？-真空等離子清洗機(jī)是一種高精度、干洗設(shè)備，氧化物表面改性適用于混合集成電路芯片、單片集成電路芯片管殼及瓷基板的清洗；用于半導(dǎo)體、陶瓷電容電路、元器件封裝前、硅片蝕刻后、真空電子、射頻連接器、電磁閥等行業(yè)的精密清洗。能去除金屬表面的油脂、油和氧化層。也可用于塑料、橡膠、金屬和瓷器表面的活體（化學(xué)）和生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)。

銅引線框架的在線等離子清洗；引線框架作為封裝的主要結(jié)構(gòu)材料，惰性氧化物表面改性貫穿整個(gè)封裝過程，約占電路封裝的80%，是用于連接內(nèi)部芯片和外部導(dǎo)線接觸點(diǎn)的金屬薄框架。引線框架的材料要求較高，必須具有高導(dǎo)電性、好導(dǎo)熱性、高硬度、優(yōu)異的耐熱性和耐腐蝕性、良好的可焊性和低成本等特點(diǎn)。從現(xiàn)有常用材料來看，銅合金可以滿足這些要求，作為主要引線框架材料。但銅合金具有較高的氧親和力，容易氧化，生成的氧化物會(huì)進(jìn)一步氧化銅合金。

這種低選擇性蝕刻配方同時(shí)蝕刻側(cè)壁上的氧化硅、氮化鈦，氧化物表面改性以及光刻膠未覆蓋區(qū)域的溝槽中的有機(jī)物，然后用等離子清潔劑進(jìn)行蝕刻。表面處理裝置CL2是主蝕刻氣體的過蝕刻步驟以去除殘留的氮化鈦。這種優(yōu)化方案減少了電路板材料和CD損耗，使其更加線性。它具有橫截面形狀，在U形溝槽中沒有氮化鈦殘留物。該方案與前兩種方案的主要區(qū)別在于去除了溝槽兩側(cè)未被光刻膠覆蓋的氧化硅。這種副作用可以通過補(bǔ)充氧化硅來解決。。

但氧化銅等污染物會(huì)造成模塑料與銅引線框架的分層，氧化物表面改性影響芯片鍵合和引線鍵合質(zhì)量。保證引線框架的清潔度是保證封裝可靠性的關(guān)鍵。結(jié)果表明，激發(fā)頻率為13.56MHz的氫氬混合氣體能有效去除引線框架金屬層上的污染物，氫等離子體能去除氧化物，氬離子化能增加氫等離子體的數(shù)量。為了比較清洗效果，J.H.Hsieh在175℃氧化銅引線框架，然后用兩種氣體Ar和Ar/H2(1:4)等離子體分別清洗2.5min和12min。

金屬氧化物表面改性綜述

車燈 – 提升不同材料粘接性密封牢固 ，耐久使用現(xiàn)在汽車大量采用高品質(zhì)的LED車燈，在其生產(chǎn)過程中的多個(gè)環(huán)節(jié)，如金屬蒸鍍、殼體粘接前，使用等離子體表面處理技術(shù)可以提升材料間的結(jié)合力與車燈的整體密封性，避免關(guān)鍵區(qū)域遭到水汽侵蝕，提升車燈的使用壽命。密封條 – 提升涂層及植絨粘接性使密封條更好的起到防風(fēng)雨，防噪音的作用。為了達(dá)到這個(gè)效果，需要在其表面噴涂功能性涂層。

等離子體刻蝕機(jī)在處理過程中具備的特點(diǎn)有：1. 等離子體刻蝕機(jī)增強(qiáng)金屬表面親合力，同時(shí)減少氣泡粘結(jié)；2. 等離子體刻蝕機(jī)解決表面不平整.易流掛，容易產(chǎn)生縮孔，不容易下入縫隙等缺點(diǎn)，提高涂膠后被膠層緊密貼合，使粘接面無縫隙，無漏水現(xiàn)象；3. 等離子體刻蝕機(jī)有效的節(jié)省膠水成本，處理后可以用普通膠水粘接，等離子體處理后，界面結(jié)合力明顯增強(qiáng)，達(dá)到國家標(biāo)準(zhǔn)，膠料的粘結(jié)強(qiáng)度達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)，可以減少膠料用量，降低生產(chǎn)成本。

3.等離子體活化是等離子體狀態(tài)的高能粒子與材料表面發(fā)生碰撞，使材料的CH鍵等鍵斷裂，使原有飽和結(jié)構(gòu)不飽和，分子不飽和。高活性態(tài)粒子與等離子態(tài)粒子再次發(fā)生反應(yīng)，從而在材料表面產(chǎn)生新的活性基團(tuán)，使材料原有的惰性表面成為活性表面。 4、鞋材表面經(jīng)過等離子體清洗和活化雙重處理，粘合強(qiáng)度提高20倍。。等離子清洗是一種“干式”清洗過程，因此材料在加工后可以立即進(jìn)入下一道加工工序。因此，等離子清洗是一種穩(wěn)定高效的工藝。

氬氣本身是惰性氣體，等離子體的氬氣不和表面發(fā)生反應(yīng)，而是通過離子轟擊使表面清潔。典型的等離子體化學(xué)清洗工藝是氧氣等離子體清洗。通過等離子體產(chǎn)生的氧自由基非?；顫?，容易與碳?xì)浠衔锇l(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)生二氧化碳、一氧化碳和水等易揮發(fā)物，從而去除表面的污染物。2.2 激發(fā)頻率分類等離子態(tài)的密度和激發(fā)頻率有如下關(guān)系：nc=1.2425×108v2其中nc為等離子態(tài)密度（cm-3），v為激發(fā)頻率（Hz）。

金屬氧化物表面改性綜述

手表配件采用等離子體處理設(shè)備的精密零件，氧化物表面改性表面清潔處理有兩個(gè)氣管，易被氧化材質(zhì)，可對(duì)接氮?dú)?、氬氣等惰性氣體。不容易被氧化的材質(zhì)能夠?qū)踊瘜W(xué)活化汽體，如空氣、o2等。，從而增強(qiáng)清洗機(jī)的使用范圍，降低用戶成本。1等離子體處理設(shè)備的真空度對(duì)商品清理實(shí)際效果(實(shí)際效果)和變色的影響。 等離子體處理設(shè)備的真空度相應(yīng)的因素包含真空腔漏率、背部真空、真空泵抽速和工藝汽體進(jìn)氣流量等。