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在材料表面處理中采用低溫等離子體，主要包括三類處理裝置：射頻真空等離子體清洗機(jī)、DBD等離子體清洗機(jī)和滑動弧射流等離子體清洗機(jī)。下面為大家介紹這三類等離子體清洗機(jī)各自的優(yōu)勢和不足之處。不同類型等離子體清洗機(jī)優(yōu)劣勢對比如下：射頻真空等離子體清洗機(jī)（真空）射頻（RadioFrequency，RF）低溫等離子體是利用高頻高壓使電極周圍的氣體電離而產(chǎn)生的低溫等離子體。

美國強(qiáng)生公司研制的Starrad S雙氧水等離子體消毒器于1997年獲得FDA批準(zhǔn)。已在歐美、日本等發(fā)達(dá)國家醫(yī)療機(jī)構(gòu)的微創(chuàng)手術(shù)中得到廣泛應(yīng)用。自2004年以來，它已在中國推廣，并已被數(shù)十家大型醫(yī)療單位使用。因此，等離子體低溫滅菌技術(shù)在中國的醫(yī)療領(lǐng)域得到了廣泛的認(rèn)可。環(huán)保:以臨床常用的雙氧水為介質(zhì)，射頻電磁場激發(fā)形成低溫等離子體并滅菌。

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等離子體清洗技術(shù)在刻蝕工藝中的應(yīng)用介紹等離子清洗的應(yīng)用，adp附著力增進(jìn)劑起源于20世紀(jì)初，隨著高科技產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，其應(yīng)用越來越廣，目前已在眾多高科技領(lǐng)域中，居于關(guān)鍵技術(shù)的地位。等離子清洗技術(shù)對產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟(jì)和人類文明影響最大，首推電子資訊工業(yè)，尤其是半導(dǎo)體業(yè)與光電工業(yè)。等離子清洗已應(yīng)用于各種電子元件的制造，可以確信，沒有等離子清洗技術(shù)，就沒有今日這么發(fā)達(dá)的電子、資訊和通訊產(chǎn)業(yè)。

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