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微弧氧化表面改性

(B)激發(fā)(活化)鍵能和交聯(lián)函數(shù)等離子體表面清洗機中粒子的能量為0~20eV,油漆附著力合格范圍聚合物中大部分鍵為0~10eV。等離子體在物質(zhì)外部使用后,覆蓋在物質(zhì)外部的化學鍵可以斷裂,等離子體中官能團中的這些鍵形成網(wǎng)絡(luò)交聯(lián)結(jié)構(gòu),極大地激發(fā)(激活)了表面活性。

油漆附著力合格范圍

業(yè)界以線條末端蝕刻前后特征尺寸差異與線條中央的等離子表面處理機蝕刻前后特征尺寸差異的比值來評估蝕刻工藝對線條末端圖形的控制精度,油漆附著力合格范圍稱之為線條末端回縮(Line End Shortness,LES)。 一般情況下,線條末端的回縮越小越好,說明線條末端的圖形失真控制在小的范圍內(nèi)。眾所周知,多晶硅柵線條跨過有源區(qū),形成器件。

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  一、真空等離子清洗機處理產(chǎn)品或材料的反應機制  真空等離子清洗機處理產(chǎn)品是在低壓反應腔室里面進行的,表面微弧氧化后油漆附著力基本操作流程把需要處理的物件放在托架或者是電極上面,關(guān)上反應腔體室的門;然后抽真空至設(shè)定的背底真空值,通入相應的工藝氣體并維持真空度在20- Pa范圍;接下來啟動電源形成等離子體與產(chǎn)品或材料進行物理或化學反應,包括等離子清洗、等離子活化、等離子刻蝕和等離子聚合等;等整個反應完成后,通入壓縮空氣或氮氣,進行破空,取出物件。

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