一些非聚合物無機(jī)氣體（Ar2、N2、H2、O2 等）在高低頻下被激發(fā)，電極表面活化能產(chǎn)生各種含有離子、激發(fā)分子、自由基等的活性粒子。一般來說，在等離子清洗中，活性氣體可以分為兩類。一種是惰性氣體（Ar2、N2 等）的等離子體，另一種是反應(yīng)氣體（O2、H2 等）的等離子體。等離子體產(chǎn)生的原理如下。對(duì)一組電極施加射頻電壓(頻率約為幾十MHz)，在電極之間形成高頻交流電場(chǎng)，該區(qū)域的氣體被交流電場(chǎng)激發(fā)而產(chǎn)生等離子體。
稱為電暈放電，鐵電極表面如何被刻蝕活化電壓和頻率、電極間距、處理溫度和時(shí)間都會(huì)影響電暈處理的有效性。電源電壓越高，頻率越高，加工強(qiáng)度越高，加工效果越好。但是，如果電源頻率太高或電極間隙太寬，就會(huì)出現(xiàn)電極過多。如果電極間距太小，則會(huì)出現(xiàn)感應(yīng)損耗和能量損耗。當(dāng)加工溫度高時(shí)，表面特性迅速變化。處理時(shí)間越長(zhǎng)，極性基團(tuán)越多，但如果處理時(shí)間過長(zhǎng)，則可能在表面形成分解產(chǎn)物，形成新的弱界面層。
辨別真空等離子清洗機(jī)正負(fù)電極板的方法如下：我們打開真空等離子清洗機(jī)的反應(yīng)倉，電極表面活化能會(huì)發(fā)現(xiàn)里面安裝有若干電極板(亦有樣品托盤的作用)。那么哪個(gè)是正極板，哪個(gè)是負(fù)極板呢。一般來說在真空等離子清洗機(jī)反應(yīng)倉的后部安裝有兩個(gè)銅電極，其中左邊為負(fù)極，右邊為正極。每個(gè)電極條上有輸出端與倉體側(cè)壁的鋁支撐對(duì)應(yīng)。
當(dāng)沒有施加電場(chǎng)時(shí)，鐵電極表面如何被刻蝕活化整個(gè)鐵電體的外部不顯示極化狀態(tài)，因?yàn)榭臻g中的疇取向是隨機(jī)的。但是，在足夠強(qiáng)的外電場(chǎng)作用下，電場(chǎng)的偶極矩向外電場(chǎng)方向轉(zhuǎn)移。這形成了極化強(qiáng)度（極化電荷）和外加場(chǎng)強(qiáng)（電壓）電位回路。磁滯錢圍起來的面積代表了每單位體積鐵電體在每個(gè)電場(chǎng)變化...
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