常壓式等離子設(shè)備不需要寶貴的真空系統(tǒng)，如何提升薄膜附著力的這使設(shè)備本身的成本和操作成本都能被使用者輕易地接受，而且由于它是在常壓式操作，因此它可以與現(xiàn)有的生產(chǎn)線路很好地結(jié)合，完成連續(xù)生產(chǎn)。由于有了這些特點(diǎn)，國(guó)內(nèi)一些頗具研發(fā)實(shí)力的汽車車燈制造企業(yè)已經(jīng)開始探索或應(yīng)用這一生產(chǎn)模式。。

結(jié)果表明，薄膜附著力怎么測(cè)量盡管表面轟擊作用會(huì)導(dǎo)致IP膠薄厚的損失，但處理等離子體動(dòng)能低，且延遲時(shí)間短，經(jīng)過(guò)電漿洗機(jī)處理后，IP膠對(duì)DIW的表面張力有所降低，即不再處理靜態(tài)表面張力的77°降到45°，不處理前表面張力的88°下降到51°，還將從未處理過(guò)的后表面張力降低到10°下述。

濕法清洗雖然在現(xiàn)有的微電子封裝生產(chǎn)中占據(jù)主要地位,但是其帶來(lái)的環(huán)境以及原料消耗問(wèn)題不容忽視。而作為干法清洗中最有發(fā)展?jié)摿Φ牡入x子體清洗,則具有不分材料類型均可進(jìn)行清洗、清洗質(zhì)量好、對(duì)環(huán)境污染小等優(yōu)點(diǎn)。

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為便于比較，現(xiàn)將三種活化條件下的CO2氧化CH4制C2烴反應(yīng)的結(jié)果列于表4-3，由表4-3 可見：在催化活化法中，當(dāng)反應(yīng)溫度高達(dá)1 K時(shí)，甲烷可以轉(zhuǎn)化為C2烴，雖然C2烴選擇性較高，但甲烷轉(zhuǎn)化率很低，因此C2烴收率僅為2%。

等離子清洗反應(yīng)物均是可揮發(fā)性的細(xì)微結(jié)合物,以便于真空泵將其抽走，泵的容量和速度須足夠大,以便迅速排出反應(yīng)的副產(chǎn)品,并且需要快速地再填充反應(yīng)所需的氣體。2.1如果我們通入的氣體中含有氧氣，那么在反應(yīng)過(guò)程中就會(huì)產(chǎn)品少量的臭氧。臭味氣體其實(shí)就是臭氧。

8、安全：“低溫等離子體”設(shè)備內(nèi)使用電壓在36伏以下，安全可靠，對(duì)人體不構(gòu)成任何傷害。

等離子廢氣處理環(huán)保雖然有很多優(yōu)點(diǎn)，但也有一些缺點(diǎn)和注意事項(xiàng)。

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