從各種清洗方法來(lái)看，微波等離子體光源的缺點(diǎn)等離子清洗也是所有清洗方法中最徹底的剝離清洗方法。等離子體清洗一般采用激光、微波、電暈放電、熱電離、電弧放電等方式將氣體激發(fā)成等離子體狀態(tài)。。表面等離子體蝕刻機(jī)用于硅片光刻膠去除的例子:等離子體脫膠法的原理是以干等離子體脫膠法為主要蝕刻氣體的方法。該裝置利用高頻高壓能量在真空等離子體蝕刻機(jī)的反應(yīng)室中產(chǎn)生氧離子和游離氧原子。

如果說(shuō)等離子體清洗對(duì)被清洗表面的影響最大，微波等離子體光源的缺點(diǎn)那么射頻等離子體清洗和微波等離子體清洗多用于半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用。中頻等離子體在表面脫膠和毛刺磨削方面效果最好。典型的等離子體物理清洗過(guò)程是在反應(yīng)室中加入氬氣作為輔助處理的等離子體清洗。氬本身是惰性氣體，不與表面發(fā)生反應(yīng)，而是通過(guò)離子轟擊來(lái)清除表面。典型的等離子體化學(xué)清洗工藝是氧等離子體清洗。

等離子體常用的激勵(lì)頻率有三種:激勵(lì)頻率為40kHz的超聲波等離子體、激勵(lì)頻率為13.56MHz的射頻等離子體和激勵(lì)頻率為2.45GHz的微波等離子體。不同的等離子體產(chǎn)生不同的自偏置電壓。超聲等離子體的自偏置約為0V，微波等離子體設(shè)備優(yōu)點(diǎn)射頻等離子體的自偏置約為250V，微波等離子體的自偏置很低，僅為幾十伏，三種等離子體的機(jī)理不同。

(6)半導(dǎo)體行業(yè):(7)表頭、裝飾行業(yè):去除污泥、灰塵、氧化層、拋光膏等(8)化學(xué)生物行業(yè):去除實(shí)驗(yàn)器具的清潔和除垢(9)光學(xué)行業(yè):除光器件的油、汗、灰塵等(10)紡織印染行業(yè):(11)石油化工:金屬過(guò)濾器清洗疏浚、化工容器清洗、交換器清洗等。。等離子體清洗機(jī)一般是利用激光、微波、電暈放電、熱電離、電弧放電等方式將氣體激發(fā)成等離子體狀態(tài)。

微波等離子體設(shè)備優(yōu)點(diǎn)

常見(jiàn)的表面活化清洗過(guò)程是通過(guò)氧氣、氮?dú)饣蛩鼈兊慕M合用氣體等離子體來(lái)做。微波半導(dǎo)體器件燒結(jié)前采用等離子清洗管是保證燒結(jié)質(zhì)量的有效方法。清潔引線框架在今天的塑料密封中仍然占有相當(dāng)大的市場(chǎng)份額，其主要利用導(dǎo)熱性、導(dǎo)電性、加工性能好的銅合金材料來(lái)制作引線框架。然而，氧化銅等污染物會(huì)造成模具與銅引線架之間的分層，影響芯片的粘接和引線架的粘接質(zhì)量，確保引線架的清潔是保證封裝可靠性的關(guān)鍵。

但是機(jī)械磨削效率低，會(huì)產(chǎn)生大量的粉塵污染環(huán)境，而且很難對(duì)不規(guī)則的表面進(jìn)行拋光。塑料制品多采用火焰加工，以增加其表面附著力，印刷效果好。但火焰處理時(shí)間短(幾小時(shí)后無(wú)效)，效率低，不能處理異形物體，且火焰明火作業(yè)，火災(zāi)不安全(全部)。目前已采用高頻(13.56MHz)或微波等離子體對(duì)上述材料進(jìn)行表面處理，但大多為實(shí)驗(yàn)室規(guī)模。

原本無(wú)色或黃褐色透明，市場(chǎng)銷(xiāo)售時(shí)經(jīng)常添加著色劑和紅、黃、黑、綠、棕、藍(lán)等顏色的顆粒、粉末。酚醛樹(shù)脂耐弱酸和弱堿，在強(qiáng)酸中發(fā)生分解，在強(qiáng)堿中發(fā)生腐蝕。不溶于水，溶于丙酮、乙醇等有機(jī)溶劑。②玻璃纖維:玻璃纖維(英文原名:Glass fiber)是一種性能優(yōu)良的無(wú)機(jī)非金屬材料。玻璃纖維有很多種。優(yōu)點(diǎn)是絕緣性好，耐熱性強(qiáng)，耐腐蝕性能好，機(jī)械強(qiáng)度高，缺點(diǎn)是脆性差，耐磨性差。

對(duì)于雙面電路，一旦板被鍍好，就可以使用傳統(tǒng)電路制造技術(shù)對(duì)其進(jìn)行成像和蝕刻。面板電鍍的優(yōu)點(diǎn)是電流密度的變化問(wèn)題較少(因?yàn)樗且粋€(gè)均勻的層板)。一個(gè)缺點(diǎn)是到處都添加了銅，在成像后會(huì)腐蝕很多銅。這將消耗額外的電鍍資源。另一個(gè)缺點(diǎn)是，由于在軋制退火銅的頂部添加了電沉積銅，電路變得不靈活，容易破裂。圖案電鍍只在選定的區(qū)域上沉積銅，因?yàn)槭褂贸上窨刮g涂層來(lái)定義圖案。

微波等離子體設(shè)備優(yōu)點(diǎn)

20MHz有物理反應(yīng)，微波等離子體設(shè)備優(yōu)點(diǎn)但最重要的反應(yīng)是化學(xué)反應(yīng)，激活和修改數(shù)據(jù)的需要用13.56mhz或20MHz等離子體清理。腔體原料的選擇現(xiàn)在常見(jiàn)的腔體原料有以下幾種，石英腔體，不銹鋼腔體，鋁合金腔體，三種腔體各有優(yōu)點(diǎn)，石英腔體溫度低，不易反應(yīng)。1、鋁合金密度低，強(qiáng)度高，比優(yōu)質(zhì)鋼多，加工功能更好。2、鋁具有優(yōu)良的導(dǎo)電性、導(dǎo)熱性和耐腐蝕性。

中國(guó)的許多高密度清潔行業(yè)都面臨著嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)，微波等離子體光源的缺點(diǎn)可以說(shuō)是面臨著前所未有的新革命局面。作為替代品，一些氯代烴清洗劑、水基清洗劑和碳?xì)浠衔锶軇┯捎诟髯缘亩拘浴⑺幚矸爆?、清洗效果差、不易干燥、安全性差等缺點(diǎn)，阻礙了國(guó)內(nèi)清洗行業(yè)的發(fā)展。另外，現(xiàn)在市場(chǎng)上的超聲波清洗機(jī)無(wú)法達(dá)到改性的效果，只能清洗一些可見(jiàn)的表面，由于各種不良在處理過(guò)程中，導(dǎo)致等離子清洗機(jī)等高效產(chǎn)品出現(xiàn)。