等離子表面處理機環(huán)境對許多化學(xué)變化都有利，具體反應(yīng)的發(fā)生與否主要取決于輸入的工藝參數(shù)，如氣體種類、流速、壓力、輸入功率等。等離子表面處理機形成的等離子體是由多種顆粒組成的復(fù)雜體系催化大部分為粘附了金屬材料活性成分的多孔介質(zhì)，當催化與等離子體觸碰時彼此之間會形成相應(yīng)干擾。催化的物理化學(xué)性能等產(chǎn)生變化，從而提高催化的活性和穩(wěn)定性等離子體的顆粒類別和濃度值產(chǎn)生變化推動等離子體化學(xué)變化。
只有當分子的能量超過活化能時，才能發(fā)生化學(xué)變化。常規(guī)化學(xué)中，這種能量是通過分子之間或分子與壁之間的碰撞來傳遞的。對等離子體而言，一方面，可以逐步提高振動能量，使其轉(zhuǎn)化為非常低的反應(yīng)能量；另一方面，電子與分子碰撞，使中性分子轉(zhuǎn)化為多種活性成分，或使中等粒子電離，其主要成分主要是超活性中性粒子、陽離子和陰離子。
在常規(guī)化學(xué)變化不能形成大量新成分的情況下，等離子表面處理機成了一種功能很強大的化學(xué)手段，擔負起了催化角色。一般情況下，溫度較低的反應(yīng)或者給定溫度下速率加快的反應(yīng)都是受到了等離子表面處理機的干擾。24465