從給人類帶來無限清潔能源的可控聚變,不同材質(zhì)的附著力大小到芯片制造行業(yè)必不可少的彩色熒光燈和刻蝕機(jī)……等離子技術(shù)經(jīng)過幾十年的發(fā)展,其神奇的“魔力”更是令人驚嘆。晴天霹靂,但我國仍缺乏等離子行業(yè)的應(yīng)用。等離子體是物質(zhì)的第四種狀態(tài),不同于固體、液體和氣體。物質(zhì)由分子組成,分子由原子組成,原子由帶正電的原子核及其周圍帶負(fù)電的電子組成。當(dāng)施加高能量時,電子離開原子核,物質(zhì)變成帶正電的原子核和帶負(fù)電的電子等離子體。

不同材質(zhì)的附著力大小

2.然后將用于等離子體清洗的氣體引入真空室內(nèi),不同材質(zhì)的附著力大小保持室內(nèi)壓力穩(wěn)定。3.在真空室內(nèi)電極與接地裝置之間施加高頻電壓,氣體被擊穿并通過輝光放電產(chǎn)生等離子體,真空室內(nèi)產(chǎn)生的等離子體覆蓋處理后的工件,開始清洗作業(yè)。一般清洗處理持續(xù)數(shù)十秒至數(shù)十分鐘,視需要處理的材料不同而定。4.清洗完畢,切斷電源,通過真空泵抽走氣體和氣化的污物,清洗結(jié)束。

等離子清洗機(jī)可用于清洗、刻蝕、活化和表面準(zhǔn)備等,可選擇40KHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發(fā)生器,以適應(yīng)不同的清洗效率和清洗效果需要。等離子體和固體、液體或氣體一樣,是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的"活性"組分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。

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不同材質(zhì)的附著力大小

不同材質(zhì)的附著力大小

清洗過程中,在真空泵控制真空室的真空環(huán)境時,氣體的流量決定了發(fā)光色度:如果色度較重,說明真空度低,氣體流量較大;而偏白時,則是真空度過高,氣體流量較??;具體需要根據(jù)所需的處理效果,來確定真空泵要實(shí)現(xiàn)的真空度。

除了氣體分子、離子和電子之外,等離子體還包含被能量激發(fā)態(tài)激發(fā)的帶中性原子或原子團(tuán),這些能量激發(fā)態(tài)是自由基和從等離子體發(fā)射的光。等離子體在等離子體與物體表面的相互作用中起著重要作用。自由基,例如自由基,與表面反應(yīng)。離子中的自由基具有很強(qiáng)的電學(xué)性質(zhì),比離子存在的時間更長。在等離子體中,自由基是高度揮發(fā)性的,它們的功能主要是在化學(xué)反應(yīng)過程中激活(化學(xué))能量轉(zhuǎn)移。

當(dāng)電子輸運(yùn)到表面清洗區(qū)域時,與清洗表面吸附的污染物分子發(fā)生碰撞,會促使污染物分子發(fā)生分解而產(chǎn)生活性自由基,這會有利于引發(fā)污染物分子的進(jìn)一步活化反應(yīng);而且,質(zhì)量很小的電子比離子運(yùn)動要快得多,因此電子要比離子更早到達(dá)物體表面,并使表面帶有負(fù)電荷,從而有利于引發(fā)進(jìn)一步活化反應(yīng)。

在另一些情況下,自由基與物體表面分子結(jié)合的同時,會釋放出大量的結(jié)合能,這種能量又成為引發(fā)新的表面反應(yīng)推動力,從而引發(fā)物體表面上的物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而被去除。

各菌在不同材質(zhì)上的附著力

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