控制單元分為兩大部分:1)電源:主要有三個(gè)電源頻率，plasma刻蝕分別是40KHz、13.56mhz和2.45ghz，其中13.56mhz是電源適配器所要求的。2)系統(tǒng)控制單元:分為三種，按鍵控制(半自動(dòng)、全自動(dòng))、計(jì)算機(jī)控制、PLC控制(LCD觸摸屏控制)。真空室真空室主要分為兩種材料:1)不銹鋼真空室。2)石英腔。真空泵分為兩種類型:1)干泵。2)油泵。

自然界中，聚四氟乙烯plasma刻蝕機(jī)器很少有純光譜色或加色與其他顏色混合。我們身邊遇到的大多數(shù)顏色都與上述情況不同，它們是通過減色法混合而產(chǎn)生的。什么是減法混合?觀察光波長(nm)黃色和綠色400-450的吸收顏色。purpleyellow450 - 480. - 490. blueorange480——greenred490 - 500。藍(lán)色,greenpurple500 - 560。

等離子清洗新工藝可以去除上述材料界面上的有機(jī)污染物，plasma刻蝕刺激和粗化材料界面，提高支架和過濾器的粘接性能，提高電纜的可靠性和產(chǎn)品生產(chǎn)率。相機(jī)觸摸組支撐架清洗:去除有機(jī)化合物，激活原料表層，提高親水性和附著力，避免漏膠。在相機(jī)組件生產(chǎn)過程中，等離子體表面清潔(Plasma)生產(chǎn)工藝對(duì)提高相機(jī)組件的質(zhì)量起著重要作用，在新一代相機(jī)組件的生產(chǎn)過程中起著關(guān)鍵作用。

曲軸油封是發(fā)動(dòng)機(jī)的零件之一，plasma刻蝕在高溫下與油接觸，所以需要使用良好的耐熱性和耐油性材料。高(級(jí))汽車廣泛使用聚四氟乙烯材料，隨著汽車性能要求的不斷提高，越來越多的廠家已經(jīng)逐步使用這種材料，其應(yīng)用前景非常廣闊。(2)處理前的控制面板粘接;(3)內(nèi)部PP件的預(yù)處理;(4)汽車門窗密封條加工;許多制造商已經(jīng)使用等離子技術(shù)來處理這些基板。等離子體轟擊增強(qiáng)了材料表面微觀層的活性，可顯著提高涂層效果。

plasma刻蝕

就反應(yīng)機(jī)理而言，等離子體清洗通常包括以下過程:無機(jī)氣體被激發(fā)到等離子體狀態(tài);氣相物質(zhì)被吸附在固體表面;被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)形成產(chǎn)物分子。產(chǎn)物分子被分析形成氣相。反應(yīng)殘?jiān)鼜谋砻婷撀?。大等離子清洗技術(shù)的特點(diǎn)是處理對(duì)象的基材類型，可以加工、金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料，如聚丙烯、聚酯、聚酰亞胺、聚(乙)氯、環(huán)氧，甚至可以很好地與聚四氟乙烯等，并可實(shí)現(xiàn)整體和局部清洗和復(fù)雜結(jié)構(gòu)。

等離子清洗設(shè)備廣泛應(yīng)用于電子產(chǎn)品，如手機(jī)外殼、手機(jī)按鍵、筆記本電腦外殼、筆記本電腦鍵盤、塑料制品等。廣泛應(yīng)用的原材料有聚乙烯、聚丙烯、聚氯乙烯、聚酯、聚甲醛、聚四氟乙烯、乙烯基、尼龍、(硅)橡膠、有機(jī)玻璃、ABS等塑料包裝印刷、涂層和粘接工藝的表面預(yù)處理。這些材料的形狀、寬度、高度、材質(zhì)類型、工序類型以及是否需要在線加工，直接影響和決定了整個(gè)表面處理設(shè)備的解決方案。

首先是需要控制SF6/O2連續(xù)等離子體中等離子體表面處理器O2的含量，使副產(chǎn)物保護(hù)層不僅能保護(hù)圖形側(cè)壁，還能使槽底部進(jìn)一步發(fā)生等離子蝕刻。對(duì)刻蝕速率的比較表明，光刻膠和氧化硅的刻蝕速率隨溫度的降低而降低，特別是在-℃以下。而當(dāng)溫度低于-℃時(shí)，硅的刻蝕速率提高，顯著提高了硅對(duì)氧化硅和光阻劑的選擇比。此外，在-℃以下的溫度條件下，可以獲得更明顯的各向異性刻蝕特性。

有機(jī)(機(jī)械)大分子的化學(xué)鍵與高分子材料的鍵(數(shù)十電子伏)相比，可以被破壞，但遠(yuǎn)低于高能輻射的鍵，不影響基體的性能。在電鍍、粘合和焊接操作過程中，粘合劑經(jīng)常被殘留物削弱，這些殘留物可以通過等離子體選擇性地去除。同時(shí)，氧化層對(duì)焊接質(zhì)量也有危害，因此需要等離子清洗來提高焊接穩(wěn)定性。等離子體刻蝕是通過高能氣體將刻蝕物轉(zhuǎn)變?yōu)闅庀唷Ｌ幚磉^的氣體和基體材料它從真空泵中抽出，連續(xù)覆蓋處理過的氣體。

plasma刻蝕

等離子體清洗、等離子體刻蝕設(shè)備設(shè)置在密閉容器兩個(gè)電極電磁場(chǎng),利用真空泵達(dá)到一定程度的真空,氣體越來越薄,距離和分子或離子自由運(yùn)動(dòng)的距離也越來越長,磁場(chǎng)的影響,撞擊和等離子體，plasma刻蝕輝光會(huì)同時(shí)發(fā)生。等離子體在電磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)，轟擊被處理物體的表面，從而達(dá)到表面處理、清洗和蝕刻的效果。等離子清洗機(jī)的表面改性主要針對(duì)高分子材料和金屬的表面改性。

1. 合理設(shè)置等離子清洗機(jī)的基本運(yùn)行參數(shù)，聚四氟乙烯plasma刻蝕機(jī)器按照機(jī)器和設(shè)備的操作說明進(jìn)行;2、保護(hù)等離子點(diǎn)火裝置，確保機(jī)器設(shè)備的正常運(yùn)行;3、機(jī)器設(shè)備運(yùn)行前的準(zhǔn)備工作，對(duì)相應(yīng)的工作人員進(jìn)行學(xué)習(xí)和培訓(xùn)，另外要保證等離子清洗機(jī)工作人員的操作能夠嚴(yán)格遵守各種操作方法的標(biāo)準(zhǔn);請(qǐng)執(zhí)行等離子發(fā)生器關(guān)閉電源，然后執(zhí)行相應(yīng)的操作方法。。等離子體可分為高溫等離子體和低溫等離子體(包括熱等離子體和冷等離子體)。