據(jù)統(tǒng)計，廣東rtr型真空等離子體噴涂設(shè)備70%以上的混合集成電路產(chǎn)品故障是由于接合不良造成的。這是因為結(jié)區(qū)在制造過程中不可避免地會受到不同類型的污染物的污染，包括不同的有機(jī)和無機(jī)殘留物。未經(jīng)處理的直接鍵合會導(dǎo)致虛焊、焊錫脫落、鍵合強(qiáng)度降低等缺陷，導(dǎo)致接頭應(yīng)力差異較大，不能保證產(chǎn)品的長期可靠性。等離子清洗技術(shù)可以有效去除鍵合區(qū)的污染物，提高鍵合區(qū)的表面化學(xué)能和潤濕性。因此，引線鍵合前的等離子清洗可以顯著降低鍵合失敗率并提高產(chǎn)品可靠性。

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?等離子清洗plasma領(lǐng)域的有關(guān)的工業(yè)生產(chǎn)人士都知道，等離子體低溫灰化爐溫度范圍等離子設(shè)施廣泛的被適用在像半導(dǎo)體，生物，醫(yī)療，還有光學(xué)，平板顯示，等工業(yè)生產(chǎn)上面，它是利用一些活性的組分來處理樣品的表層，實現(xiàn)清潔，清洗，改性等作用。真空等離子清洗plasma設(shè)施適用在半導(dǎo)體行業(yè)已經(jīng)有一定的基礎(chǔ)了，是因為在制程過程中在灌裝的時候出現(xiàn)了一些像氧化，潮濕等一系列的問題。

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：電子、離子、激發(fā)的分子原子、自由基、光子等，它們的能量范圍為1～10eV，這是纖維材料中有機(jī)分子結(jié)合能的能量范圍，所以等離子體中的活性粒子解吸. 與纖維材料表面存在濺射、激發(fā)、蝕刻等物理化學(xué)作用，以及交聯(lián)、氧化、聚合、接枝等化學(xué)反應(yīng)。 1.天然纖維和紡織品天然纖維和紡織品主要是指棉、麻、兔毛、羊毛和絲綢。

4.取兩個并顯示OK產(chǎn)品，一個是臟的，在同一位置暴露的ITO汗水（不戴手套，直接戴上指套，大約15分鐘后，指套有汗?jié)n），然后打開產(chǎn)品腐蝕觀察（車間溫度控制范圍：22°C +/- 6 ° C，濕度控制范圍 55% +/- 15%）。產(chǎn)品 A 進(jìn)行了等離子清洗，但產(chǎn)品 B 沒有。連續(xù)通電（200小時）測試后的結(jié)果如下。產(chǎn)品 A 在 71.5H 上電時缺少一排，在 77H 上電時缺少第二排。

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隨著能量密度從 380 kJ/mol 增加到 1500 kJ/mol，廣東rtr型真空等離子體噴涂設(shè)備C2H4 的選擇性從 36.0% 降低到 16.2%。 C2H2 的選擇性從 55.4% 下降到 24.2%。表 3-5 給出了能量密度對氣體產(chǎn)品 C2H4/C2H2 比和 H2/CO 比的影響。不同能量密度下C2H4/C2H2比和H2/CO比值在0.63~0.68和2.47~2.91范圍內(nèi)變化。

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