等離子體清洗還具有以下幾個(gè)特點(diǎn)：容易采用數(shù)控技術(shù)，sio2上鍍鋁附著力自動(dòng)化程度高；具有高精度的控制裝置，時(shí)間控制的精度很高；正確的等離子體清洗不會(huì)在表面產(chǎn)生損傷層，表面質(zhì)量得到保證；由于是在真空中進(jìn)行，不污染環(huán)境，保證清洗表面不被二次污染。。1.1等離子清洗機(jī)工作條件：等離子清洗過(guò)程中需要足夠的發(fā)生氣體和反應(yīng)氣壓，需要具有足夠的能量才能高速撞擊清洗物的表面。

在這種情況下的等離子表面處理會(huì)產(chǎn)生以下效果：1.1灰化表面有機(jī)層 表面會(huì)受到化學(xué)轟擊在真空和瞬時(shí)高溫狀態(tài)下，sio2上鍍鋁附著力污染物部分蒸發(fā)污染物在高能量離子的沖擊下被擊碎并被真空帶出紫外輻射破壞污染物 因?yàn)榈入x子處理每秒只能穿透幾個(gè)納米的厚度，所以污染層不能太厚。指紋也適用。 1.2氧化物去除 金屬氧化物會(huì)與處理氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng) 這種處理要采用氫氣或者氫氣與氬氣的混合物。有時(shí)也采用兩步處理工藝。

反應(yīng)后產(chǎn)生的物質(zhì)必須是揮發(fā)性的微混合物，鍍鋁附著力檢測(cè)這樣它們就可以被真空泵抽走。泵的容量和速度必須足夠大，以快速排出反應(yīng)的副產(chǎn)物，并且補(bǔ)充反應(yīng)所需的氣體。。

一般使用蝕刻氣體以O(shè)2為主以達(dá)到足夠高的縮減速率。循環(huán)蝕刻過(guò)程中單次蝕刻SiO2與Si3N4并停止在下層SiO2表面，sio2上鍍鋁附著力由于選擇比的需要，— 般分解為SiO2蝕刻(相對(duì)低選擇比)步驟和Si3N4蝕刻，后者需要對(duì) SiO2有較高的選擇比以便停止在下層SiO2表面。通常SiO2蝕刻采用CF4/CHF3等碳氟比例相對(duì)較低的蝕刻氣體，而Si3N4蝕刻則采用CH2F2等碳氟比例較高的蝕刻氣體。

sio2上鍍鋁附著力

這是因?yàn)榈入x子體清潔設(shè)備需要一個(gè)干凈的硅界面用于濕法蝕刻以形成Sigma硅溝槽。這種深度差可以通過(guò)在蝕刻氣體中引入Cl2來(lái)實(shí)現(xiàn)。與其他氣體（如HBr）相比，氯和硅形成的副產(chǎn)物具有更好的氣化性能，可以有效減少蝕刻副產(chǎn)物的沉積，提高蝕刻負(fù)荷。實(shí)驗(yàn)表明，Cl2的加入對(duì)改善深度差非常有效。通過(guò)引入Cl，該圖案引起的深度差可改善60%。

CF4：藍(lán)色 SF6：淺藍(lán)色 SiF4：淺藍(lán)色 SiCl4：淺藍(lán)色 Cl2：淺綠色 CCl4：淺綠色 H2：粉紅色 O2：淺黃色 N2：紅色到黃色 Br2：紅色 He：紅色到紫色 Ne：磚紅色 Ar：深紅色 等離子清洗機(jī)產(chǎn)生的發(fā)光顏色不僅可以識(shí)別工藝氣體，還可以定性評(píng)估工藝氣體是否含有污染物。也可用于。。等離子清洗機(jī)超負(fù)荷保養(yǎng)知識(shí)！等離子清洗機(jī)一般分為常壓等離子清洗機(jī)和真空等離子清洗機(jī)。

1-2、 芯片等離子清洗處理過(guò)程及效果　　1、功率：300W　　2、氣體：氧氣/氬氣/氫氣。

等離子處理機(jī)設(shè)備對(duì)表面清洗，可以清除表面上的脫模劑和添加劑等，而其活化過(guò)程，則可以確保后續(xù)的粘接工藝和涂裝工藝等的品質(zhì)，對(duì)于涂層處理而言，則可以進(jìn)一步改善復(fù)合物的表面特性。使用這種等離子技術(shù)，可以根據(jù)特定的工藝需求，高效地對(duì)材料進(jìn)行表面預(yù)處理。

鍍鋁附著力檢測(cè)

真空低溫等離子處理設(shè)備與真空泵相連，鍍鋁附著力檢測(cè)在清洗過(guò)程中，對(duì)清洗室內(nèi)的等離子體進(jìn)行清洗，對(duì)物體表面進(jìn)行清洗。有機(jī)物只需短時(shí)間清洗即可徹底清洗，污染物可用真空泵去除，清洗程度可達(dá)到分子水平。可以有效避免液體洗滌劑對(duì)被清洗物的二次污染。申請(qǐng)過(guò)程需要一定的風(fēng)險(xiǎn)管理意識(shí)。 1、真空低溫等離子處理器的風(fēng)險(xiǎn)是： (1)清洗劑泄漏的危險(xiǎn)：清洗劑通常是氣體，經(jīng)常使用和發(fā)送氣瓶。對(duì)于通過(guò)管道的設(shè)備。

普通氣體由電中性分子或原子組成。這些是電子、離子、原子、分子或自由基的一組粒子，sio2上鍍鋁附著力而這些粒子的值總是相等的?；谶@種類型的等離子體成分，電離氣體表現(xiàn)出兩種特性： 1.電離氣體是一種單導(dǎo)電流體，但它可以在類似于氣體體積的宏觀尺度上保持其電中性。 2.電離的庫(kù)侖力存在于氣體的帶電粒子之間，并提供了一個(gè)影響和控制帶電粒子群整體運(yùn)動(dòng)的磁場(chǎng)。產(chǎn)生等離子體的方法有很多。天體和高層大氣之間有一條自然的路。