2、石英玻璃等離子體化學(xué)氣相沉積法生產(chǎn)石英玻璃等離子體化學(xué)氣相沉積法是一種以高頻等離子體為熱源,等離子體化學(xué)氣相沉積采用化學(xué)氣相沉積法合成高純度石英玻璃的實驗裝置。對液滴生長和凝結(jié)的動力學(xué)分析表明,等離子體增強化學(xué)氣相沉積過程中的顆粒沉積過程分為三個階段:化學(xué)反應(yīng)、成核和粘附沉積。合成的石英玻璃具有優(yōu)異的光譜特性,羥基低,紫外透過率高,波長188~3200NM的透光率超過84%??蓾M足高科技領(lǐng)域?qū)拵腹獠牧系男枨蟆?/p>
等離子清洗劑在沉積過程中的應(yīng)用可分為四個步驟。 (1) 電子與反應(yīng)氣體碰撞產(chǎn)生離子和自由基; (2) 活性成分從等離子體傳輸?shù)交谋砻妫?(3) 活性成分吸附或物理化學(xué)作用于基材表面。 (4)活性成分或反應(yīng)產(chǎn)物成為沉積膜的組分。在高密度等離子體化學(xué)氣相沉積中,等離子體化學(xué)氣相沉積氣相沉積和蝕刻通常同時進行。在這個過程中存在三種主要機制:等離子體離子輔助沉積、氬離子濺射和濺射材料的再沉積。
4、低溫等離子化學(xué)氣相沉積機的表面氣相沉積功能等離子化學(xué)氣相沉積是利用等離子體活化反應(yīng)氣體,等離子體化學(xué)氣相沉積原理圖促進基板表面或表面附近空間發(fā)生化學(xué)反應(yīng),形成固體薄膜的技術(shù) 等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)的基本原理是在高頻或直流電場的作用下,源氣體電離形成等離子體,以低溫等離子體為能源,適量的反應(yīng)氣體利用等離子體放電,活化反應(yīng)氣體,實現(xiàn)化學(xué)放電技術(shù)。
這兩種功能為提高涂層的附著力、降低沉積溫度和提高反應(yīng)速率創(chuàng)造了有利條件。等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)可分為直流輝光放電、高頻放電、微波等離子體放電等等離子體能源。頻率越高,等離子體化學(xué)氣相沉積等離子化學(xué)氣相沉積的效果越明顯,形成化合物的溫度越低。 PCVD工藝設(shè)備由沉積室、反應(yīng)物供應(yīng)系統(tǒng)、放電電源、真空系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)組成。氣源應(yīng)使用氣體凈化器去除水分和其他雜質(zhì)。所需的流速通過調(diào)節(jié)裝置獲得,并與源材料一起發(fā)送到沉積室。
等離子體化學(xué)氣相沉積
我可以做它。沒有油漆剝落。
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