PID不僅具有快速的比例效應(yīng)，鐵基鍍銅鍍鎳的附著力而且還具有誤差清除的積分效應(yīng)和超前調(diào)整的差動(dòng)效應(yīng)。當(dāng)出現(xiàn)誤差步長(zhǎng)時(shí)，導(dǎo)數(shù)函數(shù)立即生效，停止誤差反彈。該比值還具有消除誤差和降低誤差強(qiáng)度的作用。由于比例效應(yīng)是一種長(zhǎng)期的、主導(dǎo)的控制規(guī)律，它可以使內(nèi)腔的真空度更加穩(wěn)定;積分效應(yīng)逐漸消除誤差。只要適當(dāng)?shù)卣{(diào)整這三種功能的主要控制參數(shù)，就可以靈活地利用這三種控制規(guī)律的優(yōu)點(diǎn)來獲得所提控制的實(shí)際效果。

氬氫混合氣體：半導(dǎo)體行業(yè)常采用Ar和H2的混合氣體對(duì)引線框架表面進(jìn)行等離子清洗，鍍鎳的附著力和強(qiáng)度可以有效去除表面的雜質(zhì)沾污、氧化層等，從而提高銀原子和銅原子活性，大幅提高焊線與引線框架的結(jié)合強(qiáng)度，提高產(chǎn)品良率，在實(shí)際生產(chǎn)中，等離子清洗已成為銅線工藝的必須工序。

高壓變壓器將來自發(fā)電機(jī)的輸出信號(hào)升高到發(fā)生所需強(qiáng)度放電所需的水平。處理站圍繞兩個(gè)電極設(shè)計(jì)：處理電極和反電極（一般處于地電位）。電極是為每個(gè)運(yùn)用而設(shè)計(jì)的。 提供各種等離子處理不同資料的等離子表面處理。

該反應(yīng)的主要產(chǎn)物是C2H6、C2H4、C2H2、CO和H2，鐵基鍍銅鍍鎳的附著力可能的反應(yīng)機(jī)理如下。

鍍鎳的附著力和強(qiáng)度

O2+CF4=O+OF+CF3+C0+COF+F+E等離子體與高分子材料（常用高分子材料:C、H、O、N)反應(yīng)+CF3+C的C,H,O,N+O+0+COF+F+E=CO2+H2O+NO2+....等離子體去除有機(jī)物的研究；大量高能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離、激發(fā)，進(jìn)而引發(fā)一系列復(fù)雜的物理化學(xué)反應(yīng)，再通過真空泵將污染物抽走。。

當(dāng)Vs>Vp時(shí)，電極附近形成的電場(chǎng)吸引電子，排斥離子，導(dǎo)致電子密度高于離子密度（Ne>Ni）。由電子形成的空間電荷層是電子鞘。等離子鞘浮動(dòng)襯底護(hù)套：當(dāng)絕緣材料插入等離子體時(shí)，到達(dá)絕緣體表面的帶電粒子不能通過電流，要么在表面重新結(jié)合，要么返回等離子體區(qū)域。在等離子體中，電子比重粒子移動(dòng)得更快，因此凈負(fù)電荷積聚在絕緣體表面。即，表面相對(duì)于等離子體區(qū)域具有負(fù)電位。

典型的等離子體物理清洗工藝是在回波腔內(nèi)加入氬氣作為輔助處理的等離子體清洗；氬本身是惰性氣體，等離子體中的氬對(duì)外觀沒有反應(yīng)，而是通過離子轟擊使外觀變得干凈。典型的等離子體化學(xué)清洗工藝是氧等離子體清洗。等離子體產(chǎn)生的氧自由基非常生動(dòng)，簡(jiǎn)單地與碳?xì)浠衔锓磻?yīng)，生成二氧化碳、一氧化碳、水等揮發(fā)性物質(zhì)，然后從外部清除污染物。

高寬比給刻蝕工藝帶來三個(gè)主要挑戰(zhàn)，包括通孔底部等離子體分布不均勻?qū)е峦椎撞總?cè)壁變形；硬掩模層高度的選擇比例導(dǎo)致刻蝕保護(hù)層分布不均勻，導(dǎo)致通孔上側(cè)壁變形；并且在蝕刻過程中，隨著通孔的深度越來越深，等離子體很難到達(dá)通孔底部，導(dǎo)致蝕刻停止。

鐵基鍍銅鍍鎳的附著力