簡單來說，不銹鋼噴漆附著力差主動式清洗臺將多個晶圓一起清洗，優(yōu)點是設備成熟，生產率高，而單片晶圓清洗設備逐片清洗，優(yōu)點是清洗精度高，背面、斜面、邊緣都可以進行有益清洗，一起防止晶圓之間的穿插污染。45nm之前，主動清潔臺可以滿足清潔要求，現(xiàn)在仍在使用；而45以下的工藝節(jié)點則依賴于單片晶圓清洗設備來滿足清洗精度要求。在工藝節(jié)點數(shù)量不斷減少的情況下，單片清洗設備是未來可預見技術下清洗設備的主流。

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這種電離氣體是由原子，分子，原子團，離子，電子組成。其作用在物體表面可以實現(xiàn)物體的超潔凈清洗、物體表面活化、蝕刻 、精整以及等離子表面涂覆。 根據等離子體中存在微粒的不同，其具體可以實現(xiàn)對物體處理的原理也各不相同，加之輸入氣體以及控制功率的不同，都實現(xiàn)了對物體處理的多樣化。

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