電暈清洗技術(shù)簡(jiǎn)單、環(huán)保、清洗效果明顯，電暈機(jī)的功能及作用對(duì)盲孔結(jié)構(gòu)非常有效。電暈清洗是指高度活化的電暈在電場(chǎng)作用下定向運(yùn)動(dòng)，與孔壁上的鉆井污物發(fā)生氣固化學(xué)反應(yīng)，同時(shí)產(chǎn)生的氣體產(chǎn)物與其中部分不發(fā)生反應(yīng)；顆粒由吸入泵排出。電暈在HDI板盲孔清洗中一般分為三個(gè)步驟。

封裝過程的質(zhì)量直接影響微電子產(chǎn)品的成品率，電暈機(jī)的功能及作用而整個(gè)封裝過程中最大的問題就是附著在產(chǎn)品表面的污染物。根據(jù)污染物的不同環(huán)節(jié)，可在各工序前應(yīng)用電暈清洗。一般分布在鍵合、引線鍵合和塑封前。電暈清洗在整個(gè)封裝過程中的主要作用是防止封裝分層、改善鍵合線質(zhì)量、增加鍵合強(qiáng)度、提高可靠性、提高成品率、節(jié)約成本。

2.-真空電暈激活鍵能和化學(xué)交聯(lián)效應(yīng)：由于低溫電暈表面作用于固體物質(zhì)表面后，紙袋機(jī)中電暈機(jī)的作用原料表面能量多為0～10eV，在低溫電暈作用下可形成固體物質(zhì)表面化學(xué)鍵；為了打破固體表面的化學(xué)鍵，羥基自由基在低溫電暈中與這些鍵形成網(wǎng)絡(luò)交聯(lián)，大大增強(qiáng)了表面層的活性。。電暈，即物質(zhì)的第四態(tài)，是由部分電子剝奪后的原子和原子電離后產(chǎn)生的電子、正電子組成的電離氣態(tài)物質(zhì)。

因此，電暈機(jī)的功能及作用電子在分子和原子中被激發(fā)，它們處于被激發(fā)或離子狀態(tài)。此時(shí)，物質(zhì)存在的狀態(tài)是電暈狀態(tài)。電暈與材料表面的反應(yīng)主要有兩種，一種是自由基作用下的化學(xué)反應(yīng)，另一種是離子作用下的物理反應(yīng)，下面會(huì)有更詳細(xì)的說明。（1）化學(xué)反應(yīng)化學(xué)反應(yīng)所用的氣體有氫(H2)、氧(O2)、甲烷(CF4)等，這些氣體在電暈中反應(yīng)成高活性自由基，其方程式為：這些自由基會(huì)進(jìn)一步與材料表面發(fā)生反應(yīng)。

紙袋機(jī)中電暈機(jī)的作用

電暈中的熱電暈裝置是利用尖端電極（如刀形或針形尖端、狹縫電極）激發(fā)產(chǎn)生電暈火焰，即常壓電暈或常壓電暈；在冷電暈裝置中，正負(fù)極布置在密封容器中形成電場(chǎng)，配合真空泵實(shí)現(xiàn)一定程度的真空，隨著氣體越來越稀薄，分子之間的距離和分子或離子自由運(yùn)動(dòng)的距離越來越長(zhǎng)。氣體在電場(chǎng)作用下碰撞形成電暈，會(huì)發(fā)出輝光，稱為真空電暈或低壓電暈。

通過電暈中親水顆粒與水分子的相互作用去除碳纖維材料表面漿料，實(shí)現(xiàn)了碳纖維材料的親水功能改性。低溫電暈發(fā)生器材料表面層的有效預(yù)處理可以有效提高材料本身表面層的附著力，即使材料本身表面層具有親水作用，這樣普通廉價(jià)的膠粘劑就可以進(jìn)行后續(xù)的附著力工作，并且非常穩(wěn)定。

主要包括兩個(gè)方面：1.電暈產(chǎn)生過程中，高頻放電產(chǎn)生的瞬時(shí)高能量打開了一些有害氣體分子的化學(xué)鍵，將其分解為單質(zhì)原子或無害分子。2.電暈中含有大量高能電子、離子、激發(fā)態(tài)粒子和氧化性強(qiáng)的自由基。這些活性粒子的平均能量高于氣體分子的鍵能，頻繁與有害氣體分子碰撞，打開氣體分子的化學(xué)鍵，形成單原子分子和固體粒子。同時(shí)，產(chǎn)生的大量·OH、·H2O、·O等自由基與氧化性強(qiáng)的O3及有害氣體分子反應(yīng)形成無害產(chǎn)物。。

油污通常是精密零件清洗在加工零件表面的殘留物，O2電暈去除效果尤為明顯。在最近的研究中，人們也提到了電暈清洗對(duì)材料表面造成的濺射損傷。事實(shí)上，只要能量控制得當(dāng)，輕微的表面損傷就能大大增強(qiáng)附著力，在某些情況下成為不可或缺的過程，比如用氬電暈去除某些材料的表面氧化物。當(dāng)然，一些工藝試驗(yàn)表明，采用分步清洗工藝可以將損傷降低到最低程度。此外，血漿清洗殘留物的毒性在國外已有深入研究。

電暈機(jī)的功能及作用

電子和重粒子（離子、分子和原子）之間能量轉(zhuǎn)移的速率與碰撞的頻率（單位時(shí)間內(nèi)的碰撞次數(shù)）成正比。在致密氣體中，紙袋機(jī)中電暈機(jī)的作用碰撞頻繁，兩種粒子的平均動(dòng)能（即溫度）很容易達(dá)到平衡，因此電子溫度大致等于氣體溫度，這是氣壓在一個(gè)大氣壓以上時(shí)的常見情況，一般稱為熱電暈或平衡電暈。在低壓條件下，碰撞很少，電子從電場(chǎng)中獲得的能量不易傳遞給重粒子。此時(shí)電子溫度高于氣體溫度，通常稱為冷電暈或非平衡電暈。

在電子工業(yè)中，電暈機(jī)的功能及作用電暈活化清洗處理工藝是一項(xiàng)能夠?qū)崿F(xiàn)成本效益和工藝可靠性的關(guān)鍵技術(shù)，在印刷電路板上的導(dǎo)電涂層印刷前進(jìn)行電暈活化處理、（電暈外處理設(shè)備）微清洗和靜電去除處理，可以保證涂層的強(qiáng)附著力。如果在芯片封裝領(lǐng)域選擇外部電暈清洗技能，則不再需要真空室。