從相對(duì)簡(jiǎn)單的平板二極管技術(shù)開(kāi)始，氟等離子等離子體刻蝕已經(jīng)發(fā)展成為一種價(jià)值數(shù)百萬(wàn)美元的結(jié)合腔。它配有多頻發(fā)生器、靜電吸盤(pán)、外壁溫控制器和專(zhuān)門(mén)為特定薄膜設(shè)計(jì)的各種過(guò)程控制傳感器。 SiO2和SiN是SiO2和SiN。二者的化學(xué)鍵可以很高，一般需要CF4、C4F8等，產(chǎn)生高活性氟等離子體能被刻蝕。上述氣體產(chǎn)生的等離子體化學(xué)性質(zhì)極其復(fù)雜，往往會(huì)在基底表面產(chǎn)生聚合物沉積。

兩者之間的化學(xué)鍵可以非常高，氟等離子處理一般需要CF4、C4F8等來(lái)產(chǎn)生可蝕刻的、高反應(yīng)性的氟等離子體。這些氣體產(chǎn)生的等離子化學(xué)非常復(fù)雜，往往會(huì)在基材表面形成聚合物沉積物。一般來(lái)說(shuō)，冷等離子體可以將氣體分子解離或分解成化學(xué)活性成分，以去除上述沉積物。。

這兩種電介質(zhì)的化學(xué)鍵能非常高，氟等離子通常需要使用由碳氟化合物氣體（CF4、C4F8 等）產(chǎn)生的高反應(yīng)性氟等離子體對(duì)它們進(jìn)行蝕刻。上述氣體產(chǎn)生的等離子體的化學(xué)性質(zhì)非常復(fù)雜，往往會(huì)在基材表面形成聚合物沉積物，通常使用高能離子來(lái)去除上述沉積物。。等離子體促進(jìn)有機(jī)和無(wú)機(jī)化合物之間的各種反應(yīng)。 (1)氫化合物、揮發(fā)性鹵素化合物、碳氟化合物、氟-氮化合物產(chǎn)生相應(yīng)的高分子化合物。

這兩種電介質(zhì)的化學(xué)鍵鍵能很高，氟等離子一般需采用由碳氟化合物氣體（如CF4、C4F8等）產(chǎn)生的高活性氟等離子體才能將其刻蝕。上述氣體所產(chǎn)生的等離子體化學(xué)性質(zhì)極為復(fù)雜，往往會(huì)在基底表面產(chǎn)生聚合物沉積，一般采用高能離子將上述沉積物去除。。等離子體可促使有機(jī)及無(wú)機(jī)化合物進(jìn)行各種反應(yīng)。① 氫化合物、 揮發(fā)性鹵化合物、 氟碳化合物、氟氮化合物生成相應(yīng)的高分子化合物。

氟等離子體 表面處理 疏水

削弱纖維之間的氫鍵有助于分散纖維。在聚合物氣體介質(zhì)中，低溫等離子產(chǎn)生的自由基碎片沉積在材料表面，形成一層非常薄的等離子聚合膜。這將改變表面屬性。例如，在生物材料表面沉積氟等離子體以提高材料的拒水性，沉積有機(jī)硅等離子體薄膜以提高其耐磨性、光學(xué)性能和潤(rùn)濕性。...低溫等離子體技術(shù)作為生物蛋白材料表面改性的有效手段，可以快速、高效、無(wú)污染地改變皮革膠原纖維的表面性質(zhì)和表面活性基團(tuán)。

..這些官能團(tuán)可以用聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚四氟乙烯等完全惰性的基材作為官能團(tuán)材料，提高表面極性、潤(rùn)濕性、結(jié)合性、反應(yīng)性及其用途，可以大大提高價(jià)值。含氟等離子體，不同于氧等離子體氣體的低溫等離子體處理可以在基材表面引入氟原子，使基材具有疏水性。以上是等離子清洗機(jī)中常用的氣體及其用途。等離子化學(xué)是一種使物質(zhì)吸收電能的氣相干化學(xué)反應(yīng)，是一種節(jié)水、節(jié)能、清潔、有效利用資源、保護(hù)環(huán)境的綠色化學(xué)，具有特點(diǎn)。

等離子邊緣蝕刻機(jī)通過(guò)頂蓋和底蓋裝置保護(hù)晶圓的大部分區(qū)域，暴露在保護(hù)裝置的邊緣和側(cè)面受到等離子的影響。覆蓋裝置和晶圓之間沒(méi)有物理接觸，距離通?？刂圃?0.3 到 0.5 毫米之間。覆蓋設(shè)備的大小可根據(jù)工藝需要選擇。對(duì)于去除的不同材料，等離子邊緣蝕刻器可以具有不同的蝕刻氣體組合。需要氧或氮基等離子體來(lái)去除聚合物。介電層需要CF4/SF6等含氟等離子體，鈦、鉭、鋁、鎢等金屬層需要含氯元素蝕刻。

等離子體刻蝕工藝始于比較簡(jiǎn)單的平板二極管技術(shù)，已經(jīng)發(fā)展到時(shí)用價(jià)值數(shù)百萬(wàn)美元的組合腔室，配備有多頻發(fā)生器、靜電吸盤(pán)、外部壁溫控制器以及針對(duì)特定薄膜專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)得多種流程控制傳感器。 可進(jìn)行刻蝕處理的電介質(zhì)為二氧化硅和氮化硅。這兩種電介質(zhì)的化學(xué)鍵鍵能很高，一般需采用由碳氟化合物氣體（如CF4、C4F8等）產(chǎn)生的高活性氟等離子體才能將其刻蝕。

氟等離子體 表面處理 疏水

改變膠原纖維的電荷或等電點(diǎn)，氟等離子如增加肽鏈上的羧基，使等電點(diǎn)下降；增加肽鏈上的氨基，則使等電點(diǎn)上升。削弱纖維間的氫鍵作用，有利于分散纖維。低溫等離子體在聚合性氣體介質(zhì)中，產(chǎn)生的自由基碎片，在材料表 面沉積形成一層極薄的等離子聚合膜，而導(dǎo)致表面性能的改變。如氟等離子體在生物材料表面沉積，提高材料的拒水性；沉積有機(jī)硅等離子膜，提高其耐磨性和光學(xué)性能以及潤(rùn)性能。

這兩種電介質(zhì)的化學(xué)鍵能非常高，氟等離子通常需要使用由碳氟化合物氣體（CF4、C4F8 等）產(chǎn)生的高反應(yīng)性氟等離子體對(duì)它們進(jìn)行蝕刻。上述氣體產(chǎn)生的等離子體的化學(xué)性質(zhì)非常復(fù)雜，往往會(huì)在基材表面形成聚合物沉積物，通常使用高能離子來(lái)去除上述沉積物。。無(wú)論是等離子清洗技術(shù)的發(fā)展，還是微電子技術(shù)的發(fā)展，都意味著時(shí)代在不斷發(fā)展，追求更好的品質(zhì)。