型號(hào)

JL-VM60

等離子源系統(tǒng)

頻  率

13.56MHz  射頻

40KHz  中頻

功  率

0~1000W可調(diào)

0-3000W可調(diào)

          選   配

真空系統(tǒng)

真空腔體

材質(zhì)

316L不銹鋼、航空鋁（選配）

腔體內(nèi)部尺寸(MM)

400*400*400（寬高深)

腔體容積

60L

極板

5層極板5層托盤(pán)可拆卸式,層間距30mm，水平式，活動(dòng)可調(diào)節(jié)

 可放最大產(chǎn)品尺寸

  320mm*280mm

密封性

軍工級(jí)焊接密封

泵

泵組

油泵/干泵+羅茨泵組合（選配）20?/H

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計(jì)

1×105~1×10-1Pa

質(zhì)量流量計(jì)

＜±1% FS  質(zhì)量流量控制（MFC）系統(tǒng)

氣路控制

2-4路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào)

真空度基礎(chǔ)壓力設(shè)定范圍

10Pa-50Pa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM（可調(diào)）

工藝氣體

Ar、N?、O?、H?等等（可選）

控制系統(tǒng)

1、PLC 自動(dòng)控制；

2、7寸觸摸屏,圖形用戶(hù)界面；

3、配方程序?yàn)?/span> 0~99；

4、多級(jí)權(quán)限操作；

5、圖形化曲線圖自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài)及錯(cuò)誤信息；

6、存儲(chǔ)工藝數(shù)據(jù)及錯(cuò)誤信息；

7、配備聲光報(bào)警裝置,報(bào)警信息提示及追溯；

  8、保護(hù)功能：工作氣體耗盡報(bào)警、壓縮空氣力低于設(shè)定值報(bào)警、反應(yīng)倉(cāng)泄露率過(guò)大報(bào)警、控制面板處設(shè)急停按鈕等

  9、免靜電清洗等多種清洗模式

10、圖形化界面檢測(cè)處理參數(shù)；

11、自動(dòng)、手動(dòng)操作可切換；

12、維護(hù)提示緊急停止按鈕；

13、門(mén)感應(yīng)器和真空互鎖；

14、顯示功能：工藝參數(shù)顯示；運(yùn)行時(shí)間顯示；工藝過(guò)程實(shí)時(shí)監(jiān)視并顯示運(yùn)行狀態(tài)，如泵的、射頻電源監(jiān)視并顯示運(yùn)行狀態(tài)，如泵的、射頻電源監(jiān)視并顯示運(yùn)行狀態(tài)，如泵的、 射頻電源質(zhì)量流量等；故障報(bào)警，提示項(xiàng)目

15、機(jī)器運(yùn)行信號(hào)指示；

16、機(jī)器運(yùn)行結(jié)束提示；

17、設(shè)備無(wú)WIFI，無(wú)藍(lán)牙，無(wú)讀卡器等相關(guān)裝置

外觀參數(shù)

外形尺寸(MM)

850*1700*1020(寬高深）

重  量

320KG

設(shè)施配置

電  力

五線線三相制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國(guó)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定

整機(jī)功率

2KW

壓縮空氣

干燥壓縮空氣CDA 0.5MPa

其  它

提供操作手冊(cè)、維護(hù)手冊(cè)、安裝手冊(cè)，易損件備件清單.