據(jù)統(tǒng)計(jì),廣東rtr型真空等離子體噴涂設(shè)備70%以上的混合集成電路產(chǎn)品故障是由于接合不良造成的。這是因?yàn)榻Y(jié)區(qū)在制造過程中不可避免地會(huì)受到不同類型的污染物的污染,包括不同的有機(jī)和無機(jī)殘留物。未經(jīng)處理的直接鍵合會(huì)導(dǎo)致虛焊、焊錫脫落、鍵合強(qiáng)度降低等缺陷,導(dǎo)致接頭應(yīng)力差異較大,不能保證產(chǎn)品的長期可靠性。等離子清洗技術(shù)可以有效去除鍵合區(qū)的污染物,提高鍵合區(qū)的表面化學(xué)能和潤濕性。因此,引線鍵合前的等離子清洗可以顯著降低鍵合失敗率并提高產(chǎn)品可靠性。
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?等離子清洗plasma領(lǐng)域的有關(guān)的工業(yè)生產(chǎn)人士都知道,等離子體低溫灰化爐溫度范圍等離子設(shè)施廣泛的被適用在像半導(dǎo)體,生物,醫(yī)療,還有光學(xué),平板顯示,等工業(yè)生產(chǎn)上面,它是利用一些活性的組分來處理樣品的表層,實(shí)現(xiàn)清潔,清洗,改性等作用。真空等離子清洗plasma設(shè)施適用在半導(dǎo)體行業(yè)已經(jīng)有一定的基礎(chǔ)了,是因?yàn)樵谥瞥踢^程中在灌裝的時(shí)候出現(xiàn)了一些像氧化,潮濕等一系列的問題。
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廣東rtr型真空等離子體噴涂設(shè)備
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:電子、離子、激發(fā)的分子原子、自由基、光子等,它們的能量范圍為1~10eV,這是纖維材料中有機(jī)分子結(jié)合能的能量范圍,所以等離子體中的活性粒子解吸. 與纖維材料表面存在濺射、激發(fā)、蝕刻等物理化學(xué)作用,以及交聯(lián)、氧化、聚合、接枝等化學(xué)反應(yīng)。 1.天然纖維和紡織品天然纖維和紡織品主要是指棉、麻、兔毛、羊毛和絲綢。
4.取兩個(gè)并顯示OK產(chǎn)品,一個(gè)是臟的,在同一位置暴露的ITO汗水(不戴手套,直接戴上指套,大約15分鐘后,指套有汗?jié)n),然后打開產(chǎn)品腐蝕觀察(車間溫度控制范圍:22°C +/- 6 ° C,濕度控制范圍 55% +/- 15%)。產(chǎn)品 A 進(jìn)行了等離子清洗,但產(chǎn)品 B 沒有。連續(xù)通電(200小時(shí))測(cè)試后的結(jié)果如下。產(chǎn)品 A 在 71.5H 上電時(shí)缺少一排,在 77H 上電時(shí)缺少第二排。
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隨著能量密度從 380 kJ/mol 增加到 1500 kJ/mol,廣東rtr型真空等離子體噴涂設(shè)備C2H4 的選擇性從 36.0% 降低到 16.2%。 C2H2 的選擇性從 55.4% 下降到 24.2%。表 3-5 給出了能量密度對(duì)氣體產(chǎn)品 C2H4/C2H2 比和 H2/CO 比的影響。不同能量密度下C2H4/C2H2比和H2/CO比值在0.63~0.68和2.47~2.91范圍內(nèi)變化。
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