至于一些中小企業(yè)，國際標(biāo)準(zhǔn)附著力要求距上述奮斗目標(biāo)相距很遠(yuǎn)?？偟膩砜矗砻婀こ坦ぷ髡咴诮档蛯Νh(huán)保負(fù)面效應(yīng)方面，仍是任重而艱巨。 表面工程具有學(xué)科的綜合性，手段的多樣性，廣泛的功能性及潛在的創(chuàng)新性，因而受到各行各業(yè)的重視。其產(chǎn)生的經(jīng)濟效益更是令人矚目。目前，我國技術(shù)門類齊全，部分表面技術(shù)的設(shè)備、材料和工藝已達到了國際先進水平。

低溫等離子體是指部分或完全電離的混合氣體，附著力劃叉對應(yīng)國際標(biāo)準(zhǔn)自由電子和離子攜帶的正負(fù)電荷總數(shù)完全抵消，從宏觀上看表現(xiàn)為中性電性。低溫等離子體清洗機在國際上分為熱低溫等離子體和冷低溫等離子體。熱低溫等離子體的電離率近%，電子和離子的溫度相當(dāng)，被視為熱平衡低溫等離子體。如低溫等離子弧、沖壓發(fā)動機的低溫等離子射流和熱可控核聚變低溫等離子體。冷低溫等離子體的電離率很低，電子的溫度遠(yuǎn)高于離子的溫度，因此被視為非熱平衡低溫等離子體。

高頻放電的頻率一般為10M～100MHz，附著力劃叉對應(yīng)國際標(biāo)準(zhǔn)這一頻率屬于無線電頻譜范圍，因此又稱為射頻(RF)放電，根據(jù)國際通用的規(guī)則射頻放電的頻率為13.56MHz。

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國際標(biāo)準(zhǔn)附著力要求

由于等離子體清洗是在高真空下進行的，等離子體中各種活性離子的休閑路徑很長，它們的穿透力和穿透力很強，可以處理雜亂的結(jié)構(gòu)，包括細(xì)管、盲孔等。

主電路的供電由接觸器控制;氣體的通短由電磁閥控制;由控制電路控制高頻振蕩器引燃電弧，并在電弧建立后使高頻停止工作。。

單噴頭用于精確的處理，多噴頭用于特殊形狀物體的處理，以及拓展性噴嘴用于更廣泛的應(yīng)用- 該技術(shù)幾乎可應(yīng)用于整個工業(yè)界。

主要過程包括:首先,工件清洗到真空室固定,啟動真空泵和其他設(shè)備開始大約10 pa真空度的真空排氣;然后介紹等離子體清洗氣體進入真空室(根據(jù)不同的清洗材料,氣體是不同的,如氧、氫、氬、氮、等),在真空室中，在電極與接地裝置之間施加高頻電壓，將氣體擊穿并通過輝光放電使其電離，產(chǎn)生等離子體。待真空室中產(chǎn)生的等離子體完全覆蓋被清洗工件后，開始清洗操作，清洗過程從幾十秒到幾分鐘不等。

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