冷等離子體的特點是:1)存在電子碰撞激發(fā)和退激發(fā)、光激發(fā)和自發(fā)輻射衰變、電子碰撞電離和多體復合等原子過程，清遠附著力優(yōu)異電泳漆以及分子解離、分解電荷交換、等離子體中帶電粒子的中和和群的置換。由于這些過程的存在可以產(chǎn)生自由基激發(fā)的原子和分子，亞穩(wěn)態(tài)原子和分子，這種非平衡等離子體是由許多易于發(fā)生一系列化學反應的新“適應群”組成的。2)當氣體保持接近環(huán)境溫度時，電子可以有足夠的能量打破分子鍵。

等離子體技術(shù)的清洗類型：根據(jù)反應類型的不同，清遠附著力優(yōu)異電泳漆等離子體清洗技術(shù)可分為兩種：等離子體物理清洗，即通過活性粒子和高能射線轟擊分離污染物；等離子體化學清洗，即活性粒子與雜質(zhì)分子反應揮發(fā)污染物。效果和特點：與傳統(tǒng)的溶劑清洗不同，等離子體依賴于其中所含的高能物質(zhì)&ldquo；激活&rdquo；達到了清洗材料表面的目的，清洗效果顯著。這是一個剝離清潔。

ICP的特點是結(jié)構(gòu)簡單，清遠附著力促進劑特點在反應腔室內(nèi)不安置電極，其使用的射頻電源一般為0.5MHz的低頻電源或13.5MHz的中頻電源，這樣產(chǎn)生的等離子體密度較高，因而具有較高的的化學活性，被廣泛應用于半導體工藝生產(chǎn)中。

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式1.2表示氫氣分子在得到外界能量后分解形成兩個氫原子自由基的過程。式1.3表示氫氣分子在具有高能量的激發(fā)態(tài)自由電子作用下轉(zhuǎn)變成激發(fā)態(tài)。式1.4一則表示激發(fā)態(tài)的氫氣分子進一步發(fā)生轉(zhuǎn)變,式1.5中,氫氣回到通常狀態(tài)的同時發(fā)出光能紫外線。式1.5中,激發(fā)態(tài)的氫氣分子分解成兩個氫原子自由基。式1.6表示氫氣分子在激發(fā)態(tài)自由電子的作用下,分解成氫原子自由基和氫原子陽離子的過程。

就整個宇宙而言，等離子體是物質(zhì)的主要形式，占宇宙物質(zhì)總量的99%以上，如恒星、星際物質(zhì)、地球周圍電離層等。“考慮到離子和電子的溫度是否一致，等離子體可以分為高溫和低溫?！秉S慶介紹，高溫等離子體離子和電子達到平衡，只有在溫度足夠高的情況下才能發(fā)生。

隨著工業(yè)領域精密化、微小化的發(fā)展方向，plasma等離子體設備表面層改性技術(shù)以其精細清潔、無損改性的優(yōu)勢，在半導體工業(yè)、電源芯片工業(yè)、航空航天等高新技術(shù)工業(yè)中具有越來越重要的應用價值。

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