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深圳市金徠技術(shù)有限公司

ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.

MgO表面改性

請記住,mgo表面改性處理效果好磁隧道結(jié)的形狀不僅會影響設(shè)備的性能,還會影響等離子清潔器的蝕刻過程。例如,蝕刻圓柱形或環(huán)形圖案相對容易。報道的磁性隧道結(jié)所用材料含有Fe、Co、Ni、Pt、Ir、Mn、Mg等金屬元素,通常為1nm左右的單層材料,由5~10層構(gòu)成。 (合金或金屬氧化物)。因此,磁記憶等離子清洗機等離子刻蝕面臨的挑戰(zhàn)是: (1) 常規(guī)反應(yīng)等離子體(RIE)面臨金屬蝕刻副產(chǎn)物不揮發(fā)的問題。

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(2)真空泄漏試驗。在手動檢漏狀態(tài)下,mgo表面改性處理效果好開啟真空泵10min,記錄下較低的真空值,然后手動關(guān)閉真空電磁閥,同時開啟檢漏按鈕,數(shù)值為每分鐘3.2Pa/min≤6.0Pa/min,為合格。(3)咬蝕試驗:7~14mg/min合格。(4)均勻性試驗:75%以上為合格。(5)運行測試:運行24小時,無一例外。。

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