作為專業(yè)級的等離子清洗機(jī)制造商和服務(wù)商,外延片等離子體清潔機(jī)金伯利通常首先評估設(shè)備的質(zhì)量和可靠性以及是否能滿足客戶的加工要求,關(guān)注:電極結(jié)構(gòu)、真空泵、等離子發(fā)生器、等離子部件的密封等. (一)控制系統(tǒng):控制系統(tǒng):觸摸屏+PLC (B)激勵電源系統(tǒng):電源:13.56MHz射頻泵浦電源(C) 真空室:鋁合金室(D) 工藝氣體系統(tǒng):工藝氣體:氬氫混合物(E)真空泵:油泵主要采用兩級旋片油泵。
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外延片等離子體清潔機(jī)