LCD的COG組裝過程,是在ITO玻璃上貼裝IC裸片,利用金球的變形與壓縮來使ITO玻璃上的引腳與IC芯片上的引腳導(dǎo)通。由于精細(xì)線路不斷發(fā)展的技術(shù),目前已經(jīng)發(fā)展到生產(chǎn)Pitch為20μm、線條為10μm的產(chǎn)品。這些精細(xì)線路電子產(chǎn)品的生產(chǎn)與組裝,對(duì)ITO玻璃的表面清潔度要求非常高,要求產(chǎn)品的可焊接性能好、焊接牢固、不能有任何有機(jī)與無機(jī)的物質(zhì)殘留在ITO玻璃上來阻止ITO電極端子與ICBUMP的導(dǎo)通性,因此,對(duì)ITO玻璃的清潔顯得非常重要。在目前的ITO玻璃清潔工藝中,大家都在嘗試?yán)酶鞣N清洗劑(酒精清洗、棉簽+檸檬水清洗、超聲波清洗)進(jìn)行清洗,但由于清洗劑的引入,會(huì)導(dǎo)致因清洗劑的引入而帶來其他的相關(guān)問題,因此,探索新的清洗方法成為各廠家的努力方向。通過逐步的試驗(yàn),利用等離子清洗機(jī)來對(duì)ITO玻璃進(jìn)行表面清潔,是比較有效的清潔方法。
在對(duì)LCD液晶玻璃進(jìn)行的等離子清洗中,使用的活化氣體是氧的等離子體,它能除去油性污垢和有機(jī)污染物粒子,因?yàn)檠醯入x子體可將有機(jī)物氧化并形成氣體排出。通過洗凈工藝后的電極端子與顯示器,增強(qiáng)了偏光板粘貼的成品率,并且電極端與導(dǎo)電膜間的粘附性也大大改善,從而改善了產(chǎn)品的質(zhì)量及其穩(wěn)定性。
等離子清洗機(jī)清洗原理
等離子清洗機(jī)實(shí)際是高精度的干法清洗設(shè)備,它的清洗范圍為納米級(jí)別的有機(jī)和無機(jī)污染物。LCD行業(yè)中的ITO玻璃在運(yùn)送和濕法清洗后,表面殘留的有機(jī)溶液和無機(jī)顆粒,成為影響IC貼合到ITO玻璃上的主要因素。在等離子清洗應(yīng)用中,主要是利用低壓氣體輝光等離子體。一些非聚合性無機(jī)氣體(Ar、N2、H2、O2等)在高頻低壓下被激發(fā),產(chǎn)生含有離子、激發(fā)態(tài)分子,自由基等多種活性粒子。一般在等離子清洗中,可把活化氣體分為兩類,一類為惰性氣體的等離子體(如Ar、N2等);另一類為反應(yīng)性氣體的等離子體(如O2、H2等)。這些活性粒子能與表面材料發(fā)生反應(yīng),其反應(yīng)過程如下:電離———氣體分子———激發(fā)———激...