等離子體表面改性屬于干法處理工藝,通過(guò)噴槍產(chǎn)生的等離子體射流與材料表面發(fā)生反應(yīng)來(lái)達(dá)到表面清潔與改性的目的(如圖一所示)。涉及的反應(yīng)主要有兩種:一種是化學(xué)反應(yīng),主要以H2、O2、N2、CO2、CF4、空氣等作為介質(zhì),經(jīng)高壓電離后生成高活性的自由基粒子,與材料表面的物質(zhì)發(fā)生氧化還原反應(yīng)生成新物質(zhì)并被排出材料表面;另一種是物理反應(yīng),采用Ar、He等惰性氣體作為介質(zhì),這些氣體在電離后產(chǎn)生的正離子、電子等高能粒子能夠不斷沖擊材料表面,直至污染物脫離材料表面。
圖一https://www.jinlaiplasma.com/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.png等離子體處理PCB板
等離子體改性技術(shù)興起于20世紀(jì)六七十年代,具有高效節(jié)能、零廢液的優(yōu)點(diǎn),可以對(duì)材料表面起到清潔、活化和改性的作用,因此在微加工、超大規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體薄膜器件、高分子材料表面處理等方面應(yīng)用廣泛。
化學(xué)濕法處理與等離子體處理對(duì)PCB表面改性效果的對(duì)比
分別采用化學(xué)濕法和等離子體工藝對(duì)PCB進(jìn)行表面改性,以對(duì)比兩種表面改性工藝的效果,從三個(gè)維度測(cè)試與表征不同工藝改性效果。
采用達(dá)因筆測(cè)試PCB的表面張力,通過(guò)觀察試液的浸潤(rùn)情況來(lái)判斷不同改性工藝對(duì)PCB表面粘附性的影響。
采用全自動(dòng)型光學(xué)接觸角測(cè)量?jī)x測(cè)量,圖2所示PCB表面3處的水接觸角(θ),取平均值,用于評(píng)價(jià)PCB的潤(rùn)濕性。
采用臺(tái)階儀測(cè)量PCB表面的臺(tái)階高度(hp),以對(duì)比不同改性工藝對(duì)PCB表面粗糙度的影響。
圖二https://www.jinlaiplasma.com/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.png水滴角測(cè)量示意圖
潤(rùn)濕性
從圖3可以看出,未經(jīng)處理的PCB表面水接觸角約為70°;經(jīng)化學(xué)濕法處理后水接觸角降低到40°左右,表面潤(rùn)濕性有所改善;低溫等離子體處理后PCB的表面水接觸角僅20°左右,潤(rùn)濕性最好。因?yàn)榭諝庠诮?jīng)高壓電離后會(huì)產(chǎn)生顯電中性的高活性自由粒子,這些粒子與PCB表面的物質(zhì)發(fā)生氧化還原反應(yīng)后會(huì)生成親水基團(tuán),使得PCB表面的潤(rùn)濕性增強(qiáng);另外,在等離子體處理過(guò)程中附帶的刻蝕作用也會(huì)令PCB表面粗糙度增大,進(jìn)而增大了固液之間的接觸面積。
圖三采用不同工藝處理前后的http://tdpai.com/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.pngPCBhttp://tdpai.com/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.png表面的水接觸角
表面粗糙度
從圖4可知,經(jīng)化學(xué)濕法處理后PCB表面的臺(tái)階高度約為1093nm,經(jīng)等離子體處理后的臺(tái)階高度在1886nm左右,說(shuō)明等離子體處理時(shí)PCB的表面粗糙度明顯高于化學(xué)濕法處理時(shí),這也是等離子體處理使PCB表面潤(rùn)濕性更好的主要原因之一。
圖四采用不同工藝處理后http://tdpai.com/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.pngPCBhttp://tdpai.com/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.png表面的臺(tái)階高度分布
粘附性
采用50dyn/cm(即50mN/m)的達(dá)因筆在PCB表面進(jìn)行涂寫(xiě)。從圖5可以看出,化學(xué)濕法處理的PCB表面筆跡出現(xiàn)斷連與收縮,涂寫(xiě)區(qū)域顏色深淺不一,說(shuō)明經(jīng)化學(xué)濕法處理后PCB的表面張力低于50dyn/cm;而低溫等離子體處理的PCB表面筆跡分布均勻,完整地鋪開(kāi),說(shuō)明經(jīng)等離子體處理后PCB表面張力≥50dyn/cm。表面張力是反映材料表面粘附性的關(guān)鍵指標(biāo),表面張力越大,表示液體膠粘劑在其表面的粘附性越好,因此等離子體處理后PCB表面的粘附性要優(yōu)于化學(xué)濕法處理后,可以與膠粘劑之間取到更好的膠接效果。
圖五http://tdpai.com/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.png50http://tdpai.com/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.pngdyn/cmhttp://tdpai.com/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.png的達(dá)因筆在經(jīng)不同工藝處理的PCB表面留下的筆跡
針對(duì)印制電路板(PCB)表面潤(rùn)濕性差的問(wèn)題,對(duì)比了傳統(tǒng)化學(xué)濕法處理和低溫等離子體處理對(duì)PCB進(jìn)行表面改性的效果,結(jié)果表明采用等離子體處理后PCB的表面潤(rùn)濕性?xún)?yōu)于采用化學(xué)濕法處理時(shí),并且等離子處理屬于干法處理,沒(méi)有污染。