此外，半導(dǎo)體等離子體清洗機(jī)器如果必須保持氧氣的流動(dòng)，真空度越高，氧氣的相對(duì)比例就越高，產(chǎn)生的活性粒子濃度也越高。但是，如果真空度太高，活性粒子的濃度反而會(huì)降低。四、氧氣流量的調(diào)節(jié)：氧氣流量大，活性粒子密度大，脫膠速度加快，但流量過大，離子復(fù)合概率增加，電子平均自由程增加。運(yùn)動(dòng)會(huì)更短，電離強(qiáng)度也會(huì)降低。

非彈性碰撞導(dǎo)致激發(fā)（分子或原子中的電子從低能級(jí)躍遷到高能級(jí)）。能級(jí)）、解離（分子分解成原子）或電離（分子或原子從外部電子的鍵合狀態(tài)變?yōu)樽杂呻娮樱?。熱氣體通過傳導(dǎo)、對(duì)流和輻射將能量傳遞到周圍環(huán)境。在穩(wěn)態(tài)下，半導(dǎo)體等離子體清洗機(jī)器特定體積的輸入能量和損失能量相等。電子與重粒子（離子、分子、原子）之間的能量轉(zhuǎn)移率與碰撞頻率（每單位時(shí)間的碰撞次數(shù)）成正比。

& EMSP; & EMSP; 當(dāng)環(huán)境溫度較低時(shí)，半導(dǎo)體等離子體清洗機(jī)器等離子體可以通過輻射和熱傳導(dǎo)將能量傳遞到壁面。因此，為了在實(shí)驗(yàn)室中維持等離子體狀態(tài)，發(fā)生器所提供的能量必須大于它所損失的能量。等離子體。 & EMSP; & EMSP; 許多人工等離子體產(chǎn)生方法（爆炸法、沖擊波法等）產(chǎn)生的等離子體狀態(tài)只能持續(xù)很短的時(shí)間（約10-5到10-1秒），具有工業(yè)應(yīng)用。價(jià)值等離子狀態(tài)保持很長(zhǎng)時(shí)間（幾分鐘到幾十小時(shí)）。

截至 2013 年，半導(dǎo)體等離子體清洗關(guān)于冷等離子體作用機(jī)制的研究被認(rèn)為是粒子非彈性碰撞的結(jié)果。冷等離子體富含電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子，高能電子與氣體分子（原子）碰撞，將能量轉(zhuǎn)化為基態(tài)分子（原子）的內(nèi)能。激發(fā)。 , 發(fā)生解離和電離。吸管處于激活狀態(tài)。一方面，氣體的分子結(jié)合被打開，產(chǎn)生幾個(gè)單分子和固體顆粒。哦，過氧化氫。高能電子在這個(gè)過程中起決定性作用，離子的熱運(yùn)動(dòng)只有副作用。

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